Типы приборов устанавливаются следующие:
ПТС - прибор теневого сечения;
ПСС - прибор светового сечения;
МИИ - микроскоп интерференционный измерительный, действие которого основано на двулучевой интерференции света;
МПИ - микроскоп-профилометр интерференционный, действие которого основано на интерференции света с образованием полос равного хроматического порядка.
(Измененная редакция, Изм. N 1).