ГОСТ 9847-79

Группа П41

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

ПРИБОРЫ ОПТИЧЕСКИЕ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ
 ПАРАМЕТРОВ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ

Типы и основные параметры

Optical instruments for surface roughness parameters measuring.
Basis parameters and types

ОКП 44 3160

Дата введения 1981-01-01

ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ

1. РАЗРАБОТЧИКИ:

А.Н.Кузнецов, А.А.Кучин

2. УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 29.08.79 N 3261

3. Срок проверки - 1995 г., периодичность - 5 лет

4. ССЫЛОЧНЫЕ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ

5. Проверен в 1991 г. Ограничение срока действия снято Постановлением Государственного комитета СССР по управлению качеством продукции и стандартам от 23.04.91 N 551

6. ПЕРЕИЗДАНИЕ (декабрь 1992 г.) с Изменениями N 1, 2, утвержденными в декабре 1986 г., апреле 1991 г. (ИУС 3-87, 7-91)

Настоящий стандарт распространяется на оптические приборы (далее - приборы), действие которых основано на принципе одновременного преобразования профиля поверхности, предназначенные для измерения параметров , и по ГОСТ 2789-73, а также устанавливает типы и основные параметры оптических приборов при визуальных измерениях параметров шероховатости при помощи отсчетного устройства.

Требования к величине линейного поля зрения (табл.4, 5 и 6), а также требования пп.2.1, 2.2.1-2.2.3, 2.4.1-2.4.3, 2.7 и 2.8 настоящего стандарта являются обязательными, другие требования - рекомендуемыми.

(Измененная редакция, Изм. N 2).

1. ТИПЫ

Типы приборов устанавливаются следующие:

ПТС - прибор теневого сечения;

ПСС - прибор светового сечения;

МИИ - микроскоп интерференционный измерительный, действие которого основано на двулучевой интерференции света;

МПИ - микроскоп-профилометр интерференционный, действие которого основано на интерференции света с образованием полос равного хроматического порядка.

(Измененная редакция, Изм. N 1).

2. ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ

2.1. Диапазон измерений параметров шероховатости приборами должен соответствовать или находиться внутри пределов измерений, указанных в табл.1.

Таблица 1

Примечание. Допускается изготовлять приборы специального назначения с диапазоном измерения, выходящим за пределы, указанные в табл.1.

(Измененная редакция, Изм. N 1).

2.2. Основные параметры приборов типов ПТС и ПСС должны соответствовать указанным в табл.2 и в пп.2.2.1-2.2.3.

Таблица 2

Термины, используемые в стандарте, и их определения указаны в приложении 2.         

2.2.1. Номинальные значения характеристик объективов в приборах типа ПСС в проектирующем микроскопе и микроскопе наблюдения должны быть одинаковыми для каждого диапазона измерений.

2.2.2. Номинальное значение угла между оптическими осями микроскопов должно быть 90°.

2.2.3. Отклонение от прямолинейности изображения края тени или щели в пределах линейного поля зрения не должно превышать 5 мкм в фокальной плоскости окуляра.

2.3; 2.3.1. (Исключены, Изм. N 1).

2.4. Основные параметры приборов типа МИИ должны соответствовать указанным в табл.5 и пп.2.4.1-2.4.3.

Таблица 5*

________________

* Нумерация соответствует оригиналу. - Примечание изготовителя базы данных.

2.4.1. Искривление интерференционных полос в поле зрения в направлении измерения не должно быть более 0,1 полосы для диапазона измерения от 0,1 до 0,8 мкм и 0,05 полосы для диапазона измерения от 0,05 до 0,1 мкм.

2.4.2. Смещение интерференционных полос в поле зрения не должно быть более чем на одну полосу в течение 15 мин через 1 ч после включения прибора.

2.4.3. Предел допускаемой погрешности аттестации эффективной длины волны источника монохроматического излучения - 2 нм.

2.5. Основные параметры приборов типа МПИ должны соответствовать указанным в табл.6.

Таблица 6

2.6. Увеличение при фотографировании должно обеспечивать фотографирование участка поверхности, соответствующего линейному полю зрения, указанному в табл.2, 3, 5, 6.

2.7. Характеристики относительной погрешности для приборов типов ПТС, ПСС, определяемые по параметру на поверхности образцовых мер, не должны превышать значений, указанных в табл.7.

Таблица 7