Этот документ входит в профессиональные
справочные системы «Кодекс» и  «Техэксперт»

     
     ГОСТ 21006-75

Группа П00

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ

МИКРОСКОПЫ ЭЛЕКТРОННЫЕ

Термины, определения и буквенные обозначения

Electron microscopes. Terms definitions and letter symbols

МКС 01.040.31

Дата введения 1976-07-01

Постановлением Государственного комитета стандартов Совета Министров СССР от 17 июля 1975 г. N 1835 дата введения установлена 01.07.76

Ограничение срока действия снято Постановлением Госстандарта СССР от 10.12.81 N 5329

ПЕРЕИЗДАНИЕ.


Настоящий стандарт устанавливает применяемые в науке, технике и производстве термины, определения и буквенные обозначения величин электронных микроскопов.

Термины, установленные настоящим стандартом, обязательны для применения в документации всех видов, учебниках, учебных пособиях, технической и справочной литературе. Приведенные определения можно при необходимости изменять по форме изложения, не допуская нарушения границ понятия.

Для каждого понятия установлен один стандартизованный термин. Применение терминов - синонимов стандартизованного термина запрещается. Недопустимые к применению термины-синонимы приведены в стандарте в качестве справочных и обозначены пометой "Ндп".

Для отдельных стандартизованных терминов в стандарте приведены в качестве справочных их краткие формы, которые разрешается применять в случаях, исключающих возможность их различного толкования.

В стандарте в качестве справочных для ряда стандартизованных терминов приведены иностранные эквиваленты на немецком (D) и английском языках (Е).

В стандарте приведены алфавитные указатели содержащихся в нем терминов на русском языке и их иностранных эквивалентов.

К стандарту дано приложение, содержащее термины общих понятий электронно-оптических приборов.

Стандартизованные термины набраны полужирным шрифтом, их краткие формы - курсивом.

Термин

Буквенное обозначение

Определение

1. Электронный микроскоп

D. Elektronenmikroskop

-

Микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками средствами электронной оптики

Е. Electron Microscope

F. Microscope

ОСНОВНЫЕ ВИДЫ ЭЛЕКТРОННЫХ МИКРОСКОПОВ

2. Просвечивающий электронный микроскоп (ПЭМ)

-

Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками, проходящими сквозь этот объект

Ндп. Трансмиссионный электронный микроскоп

D. Durchstrahlungs-Elektronenmicroskop

Е. Transmission electron microscope

3. Растровый электронный микроскоп (РЭМ)

-

Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта при сканировании его поверхности электронным зондом

Ндп. Сканирующий электронный микроскоп

D. Rasterelelektronenmikroskop

Е. Scanning electron microscope

4. Отражательный электронный микроскоп

-

Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками, отраженными этим объектом

D. Reflexions-Eletronenmikroskop

Е. Reflection electron microscope

5. Эмиссионный электронный микроскоп

-

Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками, эмиттируемыми этим объектом

D. Emissions-Elektronenmikroskop

Е. Emission electron microscope

6. Зеркальный электронный микроскоп

-

Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта, являющегося катодом электронного зеркала

D. Spiegelelektronenmikroskop

Е. Mirror electron microscope

7. Автоэлектронный проектор


Ндп. Микропроектор

-

Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками, эмиттируемыми этим объектом под воздействием электрического поля

Микроскоп-проектор

КОНСТРУКТИВНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННЫХ МИКРОСКОПОВ

8. Электронная пушка электронного микроскопа

-

Эмиссионная система, предназначенная для ускорения электронов в электронном микроскопе

Электронная пушка

D. Elektronenstranhler

Е. Electron gun

9. Электронное зеркало

D. Elektronenspiegel

-

Электронно-оптический элемент электронного микроскопа, предназначенный для изменения направления осевых составляющих скоростей электронов электронного пучка на обратное

Е. Electron mirror

10. Видеоконтрольное устройство растрового электронного микроскопа (ВКУ)

-

Система визуального наблюдения процессов, протекающих в растровом электронном микроскопе при взаимодействии электронного зонда с объектом

11. Электронная линза электронного микроскопа

-

Электронно-оптический элемент, предназначенный для фокусировки электронных пучков в электронном микроскопе

Линза

D. Elektronenlinse

Е. Electron lens

12. Магнитная линза электронного микроскопа

-

Электронная линза электронного микроскопа, предназначенная для фокусировки электронных пучков магнитным полем

Магнитная линза

D. Magnetische Linse

Е. Magnetic lens

13. Электростатическая линза электронного микроскопа

-

Электронная линза электронного микроскопа, предназначенная для фокусировки электронных пучков электрическим полем

Электростатическая линза

D. Elecktrische Linse

Е. Electric lens

14. Формирующая линза

-

Электронная линза электронного микроскопа, формирующая электронный зонд в плоскости объекта

15. Конденсаторная линза электронного микроскопа

-

Электронная линза электронного микроскопа, предназначенная для фокусировки электронных пучков, освещающих объект

Конденсор

D. Kondensorlinse

Е. Condenser lens

16. Двойной конденсатор электронного микроскопа

Двойной конденсор

-

Часть электронно-оптической системы, состоящая из двух конденсаторных линз, предназначенная для фокусировки электронных пучков, освещающих объект

D. Doppelkondensor

Е. Double condenser

17. Объективная линза электронного микроскопа

-

Электронная линза электронного микроскопа, формирующая первое увеличенное изображение объекта

Объектив

D. Objektivlinse

Е. Objective lens

18. Дифракционная линза

-

Электронная линза электронного микроскопа, формирующая промежуточное изображение объекта или его дифракционной картины в предметной плоскости промежуточной линзы

19. Промежуточная линза электронного микроскопа

Промежуточная линза

-

Электронная линза электронного микроскопа, формирующая промежуточное изображение объекта или его дифракционной картины в предметной плоскости проекционной линзы

D. Zwischenlinse

Е. Intermediate lens

20. Проекционная линза электронного микроскопа

Проекционная линза

-

Электронная линза электронного микроскопа, формирующая увеличенное конечное изображение объекта или его дифракционной картины

Ндп. Проектив

D. Projektiv

Е. Projector

21. Регистрирующая система электронного микроскопа

-

Устройство, предназначенное для регистрации электронов и вторичных излучений в электронном микроскопе

Регистрирующая система

22. Фотокамера электронного микроскопа

Фотокамера

-

Часть регистрирующей системы электронного микроскопа, предназначенная для фотографирования изображения в электронных пучках

D. Aufnahmekammer

Е. Photographic chamber

23. Вакуумная система электронного микроскопа

-

Система, предназначенная для создания вакуума в электронном микроскопе


Вакуумная система

D. Vakuumanlage

Е. Vacuum system

24. Юстировочная система электронного микроскопа

Юстировочная система

-

Устройство, предназначенное для совмещения электронного пучка с оптической осью электронно-оптической системы электронного микроскопа

25. Отклоняющая система электронного микроскопа

Отклоняющая система

-

Электронно-оптический элемент электронного микроскопа, предназначенный для отклонения электронного пучка электрическими или магнитными полями

D. Ablenksystem

Е. Deflection system

26. Стигматор

D. Stigmator

-

Электронно-оптический элемент электронного микроскопа, предназначенный для исправления приосевого астигматизма

E. Stigmator

27. Полюсный наконечник электронного микроскопа

-

Часть магнитопровода электронного микроскопа, концентрирующая поле магнитной линзы в приосевой области

Полюсный наконечник

D. Polschuh

E. Pole piese

28. Колонна электронного микроскопа

Колонна

-

Совокупность конструктивно объединенных электронно-оптических и механических элементов электронного микроскопа

D. Mikroskoprohr

E. Microscope column

29. Шлюзовое устройство электронного микроскопа

Шлюз

-

Устройство, предназначенное для ввода и вывода из колонны электронного микроскопа сменных элементов без существенного нарушения в ней рабочего вакуума

D. Schleuse

E. Airlock

ИЗОБРАЖЕНИЯ ОБЪЕКТА В ПРОСВЕЧИВАЮЩЕМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ

30. Светлопольное изображение

D. Hellfeldabbildung

E. Bright-field image

-

Изображение, сформированное в просвечивающем электронном микроскопе электронными пучками, содержащими нерассеянные в объекте электроны, а также рассеянные в пределах апертурного угла объективной линзы

31. Темнопольное изображение

D. Dunkelfeldabbildung

-

Изображение, сформированное в просвечивающем электронном микроскопе только рассеянными в объекте электронными пучками

E. Dark-field image

32. Микродифракция

D. Feinbereichsbeugung

E. Selected ared diffraction

-

Дифракционное изображение малого участка объекта, сформированное в задней фокальной плоскости объективной линзы и увеличенное электронными линзами просвечивающего электронного микроскопа   

ИЗОБРАЖЕНИЯ ОБЪЕКТА В РАСТРОВОМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ

33. Изображение во вторичных электронах

-

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием вторичных электронов от объекта

D. Abbildung mit

E. Secondary-Emission mobe

34. Изображение в отраженных электронах

-

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием отраженных от объекта электронов

D. Abbildung mit

Е. Backscackscattered Electron mode

35. Изображение в поглощенных электронах

-

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием электронов, поглощенных объектом

D. Abbildung mit

E. Absorbed specimen current mode

36. Катодолюминесцентное изображение

D. Abbildung mit Kathodolumineszenz

-

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием оптического излучения, возбуждаемого в объекте электронным зондом

E. Cathodoluminescence mode

37. Изображение в наведенном электронным зондом токе

D. Abbildung mit induzierten

-

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием тока, возникающего в цепи с полупроводниковым объектом при воздействии на него электронного зонда

E. Induced current mode

38. Изображение в рентгеновском характеристическом излучении

-

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием характеристического рентгеновского излучения, возбуждаемого в объекте электронным зондом

39. Изображение в Оже-электронах

-

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием Оже-электронов

40. Изображение в прошедших электронах

-

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе электронами, прошедшими сквозь объект

41. Изображение картин каналирования электронов

D. Abbildung mit Channelling Diagrammen

-

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием эффекта каналирования электронных пучков в объекте

E. Electron Channeling Pattern mode

42. Изображение при Y-модуляции

-

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе сложением видеосигнала с током (напряжением) кадровой развертки

ИЗОБРАЖЕНИЯ ОБЪЕКТА В ЭМИССИОННОМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ

43. Изображение во вторичных электронах при ионной бомбардировке

-

Изображение, сформированное в эмиссионном электронном микроскопе с использованием вторичных электронов, возникающих при бомбардировке объекта ионами

44. Изображение во вторичных электронах при электронной бомбардировке

-

Изображение, сформированное в эмиссионном электронном микроскопе с использованием вторичных электронов, возникающих при бомбардировке объекта электронами

45. Изображение в термоэлектронах

-

Изображение, сформированное в эмиссионном электронном микроскопе с использованием термоэлектронов, испускаемых объектом при нагревании

46. Изображение в фотоэлектронах

-

Изображение, сформированное в эмиссионном электронном микроскопе с использованием фотоэлектронов, испускаемых объектом под действием оптического излучения   

ПАРАМЕТРЫ И ХАРАКТЕРИСТИКИ

47. Ускоряющее напряжение электронного микроскопа


Разность потенциалов, определяющая энергию электронов в осветительной системе электронного микроскопа

Ускоряющее напряжение

D. Beschleunigungsspannung

E. Accelerating voltage

48. Нестабильность напряжения электронного микроскопа

Нестабильность напряжения


Самопроизвольное изменение значения ускоряющего напряжения электронного микроскопа во времени

49. Нестабильность тока электронного микроскопа


Самопроизвольное изменение значения тока электронного микроскопа во времени

Нестабильность тока

50. Электронно-оптическое увеличение электронного микроскопа

D. Elektronenoptische


Отношение линейного размера изображения, полученного непосредственно в электронном микроскопе, к линейному размеру соответствующего элемента объекта

E. Electron optical magnification

51. Общее увеличение

D.


Увеличение изображения объекта, равное произведению электронно-оптического увеличения и дополнительного увеличения, полученного вне электронного микроскопа

E. Total magnification

52. Разрешающая способность электронного микроскопа


Наименьшее расстояние между двумя деталями объекта, раздельно изображаемыми в электронном микроскопе

D.

Е. Resolving power

53. Разрешающая способность электронного микроскопа по кристаллической решетке


Наименьшее межплоскостное расстояние кристаллической решетки, плоскости которой изображаются раздельно в электронном микроскопе

D. Netzebenenabbildung

Е. Lattice plane resolution

54. Разрешающая способность электронного микроскопа по точкам


Наименьшее расстояние между двумя микрочастицами объекта, раздельно изображаемыми в электронном микроскопе

D.

Е. Point resolution

55. Электронная яркость

D. Richtsrtahlwert


Ток электронного пучка в пределах единичного телесного угла, приходящийся на единицу площади облучаемой поверхности

Е. Brightnes

56. Апертурный угол формирующей линзы

Половина угла расхождения траекторий электронов в электронном зонде

57. Апертурный угол объективной линзы электронного микроскопа


Половина угла расхождения траекторий электронов, покидающих объект и формирующих изображение

Апертурный угол объективной линзы

58. Апертурный угол осветительной системы электронного микроскопа


Половина угла расхождения траекторий электронов, падающих на объект

Апертурный угол осветительной системы