1. УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 03.03.83 N 1068
2. ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ
3. Стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 3409-81*
________________
* Доступ к международным и зарубежным документам, упомянутым в тексте, можно получить, обратившись в Службу поддержки пользователей. - Примечание изготовителя базы данных.
4. ССЫЛОЧНЫЕ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ
Обозначение НТД, на который дана ссылка | Номер пункта |
Вводная часть | |
Вводная часть |
5. Ограничение срока действия снято по протоколу N 4-93 Межгосударственного совета по стандартизации, метрологии и сертификации (ИУС 4-94)
6. ИЗДАНИЕ (май 2010 г.) с Изменениями N 1, 2, утвержденными в апреле 1984 г., ноябре 1988 г. (ИУС 8-84, 2-89)
Настоящий стандарт распространяется на механические вакуумные насосы объемного действия, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие при выпускном давлении, равном атмосферному, и создающие на входе давление менее 1000 Па, и устанавливает методы измерения предельного остаточного давления и быстроты действия.
Стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 3409-81.
Термины, применяемые в настоящем стандарте, и их пояснения - по ГОСТ 5197 и ГОСТ 26790.
(Измененная редакция, Изм. N 1, 2).