ГОСТ 25661-83

Группа Э71

     

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ

     

УСТАНОВКИ ДЛЯ ФИНИШНОЙ ОЧИСТКИ ВОДЫ

     
Общие технические требования

     
Installations for final water treatment.
General technical requirement

МКС 13.060.30

ОКП 63 6101

Дата введения 1984-01-01

     

ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ

1. УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 03.03.83 N 1066

2. Стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 3406-83

3. ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

4. Ограничение срока действия снято по протоколу N 3-93 Межгосударственного совета по стандартизации, метрологии и сертификации (ИУС 5-6-93)

5. ИЗДАНИЕ с Изменением N 1, утвержденным в июне 1988 г. (ИУС 11-88)

1. Настоящий стандарт распространяется на установки финишной очистки воды (далее - установки), предназначенные для деионизации воды с последующей стерилизацией и очисткой от микрочастиц и микроорганизмов непосредственно на месте использования при производстве изделий микроэлектроники 4 степени интеграции.

Пояснения терминов, применяемых в настоящем стандарте, приведены в приложении.

(Измененная редакция, Изм. N 1).