ГОСТ 26222-86 Детекторы ионизирующих излучений полупроводниковые. Методы измерения параметров

6. МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ЭНЕРГЕТИЧЕСКОГО ЭКВИВАЛЕНТА ТОЛЩИНЫ МЕРТВОГО СЛОЯ

6.1. Аппаратура

6.1.1. Измерение энергетического эквивалента толщины мертвого слоя (далее - ЭМС) следует проводить на установке, структурная схема которой приведена на черт.9. Измерение, как правило, совмещают с измерением энергетического разрешения.

6.1.2. В измерительной установке должна быть обеспечена возможность установления значений угла падения ионизирующего излучения =0° и =60° без нарушения климатических условий и изменения среднего расстояния между центрами входного окна ППД и излучающей поверхностью источника.

6.1.3. Измерения проводят с источниками непосредственно ионизирующего излучения. Энергия ионизирующего излучения должна не менее чем в 10 раз превышать норму на ЭМС, установленную в НТД.

В случае применения источника электронов поток ионизирующего излучения должен быть коллимирован в один или несколько пучков диаметром не более диаметра (диагонали) входного окна ППД.

6.2. Подготовка и проведение измерений

6.2.1. Выполняют действия по пп.4.2.1-4.2.6, при этом числа импульсов в канале, соответствующем пику полного поглощения, должно быть не менее 1000.

6.2.2. Определяют номер канала , где регистрируется максимум пика полного поглощения.

6.2.3. Угол падения ионизирующего излучения устанавливают =60°.

6.2.4. Выполняют п.4.2.6, при этом число импульсов в канале, соответствующее максимуму пика полного поглощения, должно быть не менее 1000.

6.2.5. Определяют номер канала , где регистрируется максимум пика полного поглощения.

6.3. Обработка результатов

6.3.1. ЭМС рассчитывают по формуле

,                                              (27)

где - ЭМС, кэВ;

- ширина канала, кэВ на канал;

, - номера каналов, где зарегистрирован максимум пика полного поглощения.

6.4. Показатели точности измерений

6.4.1. Погрешность измерения ЭМС находится в интервале ±25% с установленной вероятностью 0,95.