ГОСТ 8.506-84 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Зеркала сферические выпуклые. Методика выполнения измерений радиуса кривизны и локальных отклонений формы поверхностей от сферы методом голографической интерферометрии сдвига

4. ВЫПОЛНЕНИЕ ИЗМЕРЕНИЙ

4.1. Внешний осмотр

4.1.1. При внешнем осмотре установки типа УИГ-2Г-1 должны быть установлены:

отсутствие дефектов оптических элементов установки;

наличие защитного заземления корпуса установки и элементов защитной электрической блокировки отдельных приборов;

наличие свободных проходов около установки в зоне действия оператора;

возможность временного отключения принудительной вентиляции.

4.2. Опробование регистрирующей аппаратуры

4.2.1. При опробовании должны быть проведены следующие операции:

проверка плавности перемещения подвижных частей голографического интерферометра, надежности крепления оптических элементов в юстировочных приспособлениях;

проверка работоспособности пульта оператора;

включение и выключение затворов;

визуальная проверка наличия непрерывного излучения газового лазера типа ЛГ-38;

проверка свободной подвески плиты стола установки типа УИГ-2Г-1.

4.3. Юстировка оптической схемы голографического интерферометра сдвига и получение  голограмм

4.3.1. Радиусы кривизны измеряют в схеме голографического интерферометра сдвига, реализуемого на базе установки типа УИГ-2Г-1.

Голографический интерферометр сдвига собирают на амортизированной плите установки типа УИГ-2Г-1 из деталей, входящих в комплект установки. Дополнительно изготовляют диффузор и механизм сдвига.

Диффузор - рассеивающий плоский экран размером не менее 600x600 мм, изготовляемый из любого стекла нанесением матовой поверхности на одну из его сторон, обращенной к контролируемому зеркалу. На матовую поверхность экрана наносят квадратную координатную сетку штрихов с ячейкой размером 50X50 мм. Диффузор снабжен окном диаметром 20 мм, расположенным в нижней его части, для опорного светового потока. В произвольной точке диффузора имеется отверстие, в котором установлен микрообъектив с фокусным расстоянием 1 мм, снабженный приспособлением для юстировки в плоскости, перпендикулярной к диффузору. Диффузор жестко крепят перпендикулярно к поверхности плиты.

Механизм сдвига произвольной конструкции обеспечивает закрепление контролируемого зеркала с горизонтальным положением оптической оси на уровне центра диффузора и перемещение его при выполнении измерений. Механизм может быть снабжен сервоприводами, запускаемыми с пульта оператора. Направления необходимых перемещений зеркал указаны в таблице. Результирующее перемещение контролирует оператор как визуально по вспомогательной голограмме, так и с помощью микроскопа и автоколлиматора, входящего в оптическую схему.

Установка типа УИГ-2Г-1 предназначена для получения и регистрации голографических интерферограмм сдвига при измерении радиусов кривизны одновременно двух зеркал, одно из которых является образцовым, а другое - контролируемым, а при измерении местных ошибок - только контролируемого зеркала. В качестве образцового зеркала используют контрольное пробное стекло с радиусом кривизны, соответствующим заданному значению радиуса кривизны с отклонением не более ±10%. Образцовое зеркало устанавливают в схеме рядом с контролируемым, юстируют относительно последнего с помощью угловых перемещений и жестко закрепляют. Образованный таким образом блок зеркал не деформируется в течение всего времени измерения радиуса кривизны.