1.1. Методы оптического вида контроля основаны на применении электромагнитного излучения в диапазоне длин волн от до мкм.
1.2. Методы оптического вида контроля и области их применения приведены в табл.1.
Таблица 1
Название метода | Область применения | Факторы, ограничивающие область применения | Контролируемые параметры | Чувстви- тельность | Погреш- | |
Визуальный | Дефектоскопия, контроль формы | Диапазон длин волн должен быть 0,38-0,76 мкм | Дефектность, отклонение от заданной формы | 0,1 мм | - | |
Визуально- оптический | Дефектоскопия с помощью микроскопов, стереоскопия, размерный контроль с помощью проекционных устройств, эндоскопия внутренних поверхностей, интроскопия | Минимальная яркость изображения объекта контроля не менее 1 кд/м | Размеры изделий, дефектов, отклонения от заданной формы | 0,1-1,0 | ||
Интерферо- метрический | Оптическая толщинометрия, контроль формы полированных изделий, анализ шероховатости | Применим только для полированных поверхностей | Сферичность, плоскостность, толщина | 0,1 | ||
Дифракци- онный | Контроль размеров тонких волокон, формы острых кромок, структуры | Размеры дефектов должны быть сравнимы с длиной волны света | Диаметры волокон, размеры дефектов, острых кромок | 1,0 | ||
Поляризаци- онный | Контроль напряжений в прозрачных средах методом фотоупругости, анализ степени поляризации источников света, эллипсометрическая толщинометрия | Применим только для оптически прозрачных сред | Вращение плоскости поляризации двулучепреломление, толщина | 1,0 | ||
Фазово- контрастный | Контроль оптической неоднородности прозрачных сред | Применим только для оптически прозрачных сред | Градиент показателя преломления | 0,01 | ||
Рефракто- метрический | Дисперсионный контроль оптических сред, измерение концентрации растворов | Применим только для оптически прозрачных сред | Показатель преломления | 0,01 | ||
Рефлексо- | Контроль шероховатости поверхности изделий, измерение блеска и глянца | Коэффициент отражения должен быть не менее 1% | Коэффициент отражения, индикатрисса отражения | 1,0 | ||
Денсито- | Анализ оптической плотности светофильтров, прозрачных пленок | Применим для нерассеивающих прозрачных сред | Оптическая плотность, коэффициент пропускания | 1,0 | ||
Спектраль- | Контроль спектральных характеристик изделий в отраженном и проходящем свете, анализ состава газовых смесей, жидкостей, твердых веществ | - | Спектральные коэффициенты отражения, поглощения, пропускания, концентрация вещества | 1,0 | ||
Колоримет- | Анализ цвета изделий | Наличие источников посторонней засветки | Координаты цвета | 100,0 мкм | 1,0 | |
Нефеломет- | Анализ структуры кристаллов, стекол, растворов, газов, гранулометрия | - | Индикатрисса рассеяния, коэффициенты рассеяния, концентрация объемных включений | 1,0 | ||
Стробоско- | Дефектоскопия и размерный контроль подвижных объектов | - | Угловая скорость | с | 5,0 | |
Фотометри- | Измерение характеристик источников оптического излучения | - | Яркость Освещенность | кд/м | 5,0 | |
Голографи- | Контроль геометрии объектов сложной формы, однородности оптических сред | Малая когерентность лазера, вибрации | Деформации, перемещения, отклонение от заданной формы, градиенты показателя преломления | 1,0 | ||
Телевизи- | Электронно-оптический анализ структуры веществ, измерение линейных размеров | - | Гранулометрические характеристики, размеры дефектов | 1,0 |
Примечание. - минимальная разность длин волн, при которой возможно измерение спектральных характеристик объектов;
- длина волны света;
- апертура оптической системы,
где - показатель преломления;
- апертурный угол.