Метод основан на возбуждении излучения атомов анализируемого образца электрическим разрядом, разложении излучения в спектр, измерении аналитических сигналов, пропорциональных интенсивности спектральных линий, и последующем определении значений массовой доли элементов с помощью градуировочных характеристик.