Приложение
к Постановлению Министерства труда
Российской Федерации
от 5 декабря 1994 г. N 75
ДОПОЛНЕНИЯ
в Единый тарифно-квалификационный справочник работ
и профессий рабочих, выпуск 20, утвержденный
Постановлением Госкомтруда СССР и Секретариата
ВЦСПС от 23 января 1985 г. N 23/3-3 и применяемый
в соответствии с Постановлением Минтруда России
от 12 мая 1992 г. N 15а на предприятиях и в
организациях, расположенных на территории России
1. Дополнить профессию "Оператор прецизионной резки" раздела "Общие профессии электронной техники" тарифноквалификационной характеристикой 6 разряда (параграф 54а), изложив ее в следующей редакции:
54а. Оператор прецизионной резки
6 разряд
Характеристика работ. Ориентированная прецизионная резка заготовок и слитков полупроводниковых материалов диаметром свыше 100 мм на пластины на автоматизированном агрегате резки с программным управлением с разбросом по толщине + 10 мкм. Установка и настройка режущего инструмента, контроль за его исправностью. Регулировка агрегата и подналадка режущего инструмента в процессе работы. Составление и корректировка программы автоматической работы агрегата. Определение направления и величины ухода режущей кромки, правка режущего инструмента, снижение величины ухода режущей кромки.
Должен знать: конструкцию и основы работы оборудования с программным управлением; способы проверки и регулировки параметров работы обслуживаемого оборудования; методов контроля качества резки.
2. Дополнить профессию "Оператор прецизионной фотолитографии" раздела "Общие профессии электронной техники" тарифно-квалификационной характеристикой 7 разряда (параграф 59а), изложив ее в следующей редакции:
59а. Оператор прецизионной фотолитографии
7 разряд
Характеристика работ. Проведение полного цикла фотолитографического процесса по изготовлению сверхбольших интегральных схем (СБИС) с размерами элементов 2 мкм, точностью совмещения + 0,15 мкм и размером рабочего модуля 10/10 мм. Обслуживание установок совмещения и мультипликации всех типов, установок нанесения и сушки, установок проявления и задубливания фоторезиста на линии типа Лада-150 с программным управлением. Ввод коррекции на совмещение слоев, оценка значения масштаба и разворота на проекционной печати, качества совмещения внутри модуля и по полю пластины. Ввод рабочих программ для обеспечения автоматического режима оборудования. Определение дефектности фоторезиста и локализации узла оборудования, генерирующего дефекты. Измерение линейных размеров на автоматическом измерителе типа Zeitz. Входной контроль металлизированного промежуточного оригинала (МПО), подготовка его к работе, сборка и выдача в работу с двухсторонней защитой пелликлом.
Должен знать: конструкцию и принцип работы фотолитографического оборудования с программным управлением; правила пользования автоматической системой управления движения пластин;
методы корректировки технологических режимов формирования фоторезистивных покрытий по результатам контроля основных характеристик фоторезиста и лака.
Требуется среднее профессиональное образование.
Примеры работ.
1. Металлизированные промежуточные оригиналы (МПО) изготовление пробных отсъемов, контроль совмещаемости слоев.
2. Пластины СБИС с размером элементов 2 мкм - проведение полного технологического цикла фотолитографических операций и контроль качества выполнения их перед проведением плазмо-химических процессов.
3. Рамка контактная - проведение полного цикла фотолитографических операций.
4. Шаблоны пленочные с допуском несовмещения 15 мкм проведение полного технологического цикла фотолитографических операций.
3. Дополнить профессию "Травильщик прецизионного травления" раздела "Общие профессии электронной техники" тарифно-квалификационной характеристикой 6 разряда (параграф 97а), изложив ее в следующей редакции:
97а. Травильщик прецизионного травления
6 разряд
Характеристика работ. Ведение процессов объемной химической обработки пластин, химического травления диэлектрических пленок (двуокиси кремния, нитрата кремния, фосфоросиликатного стекла) на автоматизированных комплексах, состоящих из шести и более установок. Самостоятельный выбор и задание на ЭВМ программы на приготовление технологических растворов с требуемой концентрацией компонентов. Ввод в ЭВМ технологических параметров химической обработки, отмывки и сушки. Контроль по дисплею и регулирование технологических параметров (время обработки, температура, удельное сопротивление воды). Определение и задание на ЭВМ маршрута движения робота с партиями пластин. Контроль дефектности процесса, оценка уровня дефектности на автоматизированных анализаторах поверхности типа "Surfskan 4500". Обслуживание автоматизированных комплексов химической обработки в режиме "отладка". Ведение учета отказов автоматизированного комплекса, анализа диагностики, выдаваемой ЭВМ, проведение простых наладочных работ. Обслуживание и подналадка автоматических перегрузчиков пластин. Химическая обработка стеклопластин на автоматических ультразвуковых линиях. Определение и задание параметров обработки стеклопластин путем программирования режимов отмывки на компьютере, контроль параметров технологического процесса с последующей корректировкой задаваемых режимов с применением контрольных графиков.
Должен знать: устройство, принцип работы, конструктивные особенности и правила эксплуатации автоматизированных комплексов химической обработки и автоматических перегрузчиков пластин; основные принципы работы на персональном компьютере и способы задания параметров химической обработки при работе на автоматизированных комплексах, состоящих из шести и более установок; устройство и правила эксплуатации ЭВМ типа IBMP, принцип сборки и обработки данных на ПЭВМ; порядок доставки химреагентов; правила эксплуатации систем автоматизированной подачи химреактивов; требования к качеству обработанных изделий; основные виды брака и способы их устранения.
Примеры работ.
1. Пластины СБИС - обработка в перекисно-аммиачных растворах и растворах серной кислоты с перекисью водорода на линии "Кубок"; травление SiO, SiN, ФСС на линии "Кубок Т".
2. Пластины стеклянные - многостадийная химическая обработка на автоматических ультразвуковых линиях.
4. Дополнить профессию "Оператор вакуумно-напылительных процессов" раздела "Полупроводниковое производство" подраздела "Производство полупроводниковых приборов, интегральных и твердых схем" тарифно-квалификационной характеристикой 7 разряда (параграф 20а), изложив ее в следующей редакции:
20а. Оператор вакуумно-напылительных процессов
7 разряд