Государственная поверочная схема для средств измерений эллипсометрических углов

     2. Сокращения и обозначения

В настоящем документе использованы следующие сокращения:

ГПЭ - государственный первичный эталон;

СКО - среднее квадратическое отклонение;

НСП - неисключенная систематическая погрешность.