Приложение
к приказу Федерального агентства
по техническому регулированию
и метрологии
от 15 августа 2022 г. N 2018

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ДЛИНЫ В ДИАПАЗОНЕ от 1·10  до 100 м И ДЛИН ВОЛН В ДИАПАЗОНЕ от 0,2 до 50 мкм

     1. Область применения

1.1. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1·10 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм (далее - государственная поверочная схема) устанавливает порядок передачи единицы длины от государственного первичного эталона единицы длины - метра ГЭТ 2-2021 (далее - государственный первичный эталон) средствам измерений с помощью вторичных и рабочих эталонов с указанием погрешностей и основных методов поверки.

Допускается проводить поверку с помощью эталонов более высокой точности, чем предусмотрено настоящей государственной поверочной схемой.

Государственная поверочная схема состоит из четырех частей:

часть 1. Источники излучений и средства измерений длин волн;

часть 2. Меры длины штриховые и измерители перемещений;

часть 3. Меры длины концевые плоскопараллельные и средства измерений наружных и внутренних размеров;

часть 4. Измерители перемещений, меры рельефные и микроскопы в области нанодиапазона.

Графическая часть Государственной поверочной схемы для средств измерений длины в диапазоне от 1·10  до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм представлена в приложениях А, Б, В и Г.

     2. Государственный первичный эталон

2.1. Государственный первичный эталон представляет собой комплекс, в состав которого входят следующие средства измерений:

источник эталонного излучения - лазер, стабилизированный по линии насыщенного поглощения в молекулярном йоде 127;

источник эталонного излучения транспортируемый - лазер, стабилизированный по линии насыщенного поглощения в молекулярном йоде 127;

источник эталонного излучения - Nd:YAG лазер, стабилизированный по линии насыщенного поглощения в молекулярном йоде 127;

комплекс аппаратуры для измерения частоты (длины волны в вакууме) лазеров в диапазоне длин волн от 500 до 1050 нм;

стандарт частоты и времени водородный Ч1-1003М;

установка для измерений разности частот источников лазерного излучения;

компаратор универсальный интерференционный метровый;

компаратор лазерный интерференционный для измерений длины в субмикронном и нанодиапазоне;

интерферометр гетеродинный;

компаратор лазерный интерференционный тридцатиметровый.

Номинальные значения длин волн, при которых воспроизводится единица, составляют 633 нм и 532 нм.

Государственный первичный эталон обеспечивает воспроизведение единицы со средним квадратическим отклонением результата измерений, не превышающим:

на длине волны 633 нм 1,6·10 при 100 независимых измерениях;

на длине волны 532 нм 1,3·10 при 100 независимых измерениях.

Неисключенная систематическая погрешность не превышает:

на длине волны 633 нм 1,9·10;

на длине волны 532 нм 1,6·10.

Стандартная неопределенность:

оцененная по типу А:

на длине волны 633 нм 1,6·10;

на длине волны 532 нм 1,3·10;

оцененная по типу В:

на длине волны 633 нм 7,8·10;

на длине волны 532 нм 6,5·10.

Суммарная стандартная неопределенность:

на длине волны 633 нм 1,8·10;

на длине волны 532 нм 1,5·10.

Расширенная неопределенность:

на длине волны 633 нм 3,6·10 при коэффициенте охвата k=2;

на длине волны 532 нм 3,0·10 при коэффициенте охвата k=2.

Источник эталонного излучения транспортируемый - лазер, стабилизированный по линии насыщенного поглощения в молекулярном йоде 127, из состава государственного первичного эталона обеспечивает воспроизведение единицы со средним квадратическим отклонением результата измерений, не превышающим на длине волны 633 нм 6,2·10 при 100 независимых измерениях.

Неисключенная систематическая погрешность не превышает на длине волны 633 нм 1,0·10.

Стандартная неопределенность:

оцененная по типу А на длине волны 633 нм 6,2·10;

оцененная по типу В на длине волны 633 нм 4,2·10.

Суммарная стандартная неопределенность на длине волны 633 нм 7,5·10.

Расширенная неопределенность на длине волны 633 нм 1,5·10 при коэффициенте охвата k=2.

Диапазон передачи единицы длины источникам лазерного излучения от 500 до 1050 нм.

Диапазон передачи единицы длины от 1·10 до 30 м.

Среднее квадратическое отклонение результата измерений S при передаче единицы длины лазерным интерференционным компаратором для измерений длины в субмикронном и нанодиапазоне и гетеродинным интерферометром не превышает 0,1 нм.

Среднее квадратическое отклонение результата измерений S при передаче единицы длины мерам длины концевым плоскопараллельным и мерам длины штриховым с помощью универсального интерференционного метрового компаратора не превышает 0,03 мкм.

Среднее квадратическое отклонение результата измерений S при передаче единицы длины с помощью лазерного интерференционного тридцатиметрового компаратора не превышает 5 мкм.

Государственный первичный эталон применяют для передачи единицы длины вторичным, рабочим эталонам и средствам измерений методом прямых измерений и методом сличения с помощью компаратора и мер сравнения (меры длины концевые плоскопараллельные класса точности 00 по ГОСТ 9038-90 "Меры длины концевые плоскопараллельные. Технические условия", меры длины штриховые класса точности 0 по ГОСТ 12069-90 "Меры длины штриховые брусковые. Технические условия", ленты измерительные длиной 24000 мм в соответствии с МИ 1987-89 "Рекомендация. Государственная система обеспечения единства измерений. Меры длины штриховые. Общие требования к поверке").

2.2. Для передачи единицы длины средствам измерений - системам измерительным лазерным в диапазоне от 0 до 80000 мм может применяться также Государственный первичный специальный эталон единицы длины ГЭТ 199-2018 методом прямых измерений.

     3. Вторичные эталоны

     3.1 Вторичные эталоны 1-й части

3.1.1 В качестве вторичных эталонов применяют частотно-стабилизированные лазеры в диапазоне длин волн от 0,4 до 11 мкм.

3.1.2 Средние квадратические отклонения суммарной погрешности результатов сличений вторичных эталонов с государственным первичным эталоном составляет от 1·10 до 1·10.

В качестве компаратора применяются установки на основе вакуумированного интерферометра Фабри-Перо.

3.1.3 Вторичные эталоны применяют для поверки рабочих эталонов 1-го разряда - спектральных ламп, частотно-стабилизированных лазеров сличением с помощью компаратора, измерителей длин волн методом прямых измерений, рабочих эталонов 2-го разряда - измерителей длин волн лазеров импульсного излучения методом прямых измерений, а также средствам измерений - частотно-стабилизированным лазерам непрерывного излучения методом сличения с помощью компаратора.