ГОСТ Р 57550-2017

     

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ КОМПЛЕКСЫ ДЛЯ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ОБРАБОТКИ В ВАКУУМЕ

Технические требования

Technological equipment for electron beam processing in vacuum. Technical requirements     

     
ОКС 25.160.01

Дата введения 2017-12-01

Предисловие

1 РАЗРАБОТАН Федеральным государственным унитарным предприятием "Всероссийский научно-исследовательский институт стандартизации и сертификации в машиностроении" (ФГУП "ВНИИНМАШ") и Публичным акционерным обществом "Электромеханика"

2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 210 "Технологическое обеспечение создания и производства изделий"

3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 20 июля 2017 г. N 730-ст

4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

5 ПЕРЕИЗДАНИЕ. Февраль 2020 г.

Правила применения настоящего стандарта установлены в статье 26 Федерального закона от 29 июня 2015 г. N 162-ФЗ "О стандартизации в Российской Федерации". Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном (по состоянию на 1 января текущего года) информационном указателе "Национальные стандарты", а официальный текст изменений и поправок - в ежемесячном информационном указателе "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ближайшем выпуске ежемесячного информационного указателя "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (www.gost.ru)

     1 Область применения

Настоящий стандарт распространяется на технологические комплексы для электронно-лучевой обработки изделий из различных металлов и сплавов энергетически насыщенным электронным пучком в вакууме.

Настоящий стандарт устанавливает основные технические требования к технологическим комплексам в составе электронно-лучевого оборудования.

     2 Нормативные ссылки

В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:

ГОСТ 9.014 Единая система защиты от коррозии и старения. Временная противокоррозионная защита изделий. Общие требования

ГОСТ 9.032 Единая система защиты от коррозии и старения. Покрытия лакокрасочные. Группы, технические требования и обозначения

ГОСТ 12.1.005 Система стандартов безопасности труда. Общие санитарно-гигиенические требования к воздуху рабочей зоны

ГОСТ 12.1.012 Система стандартов безопасности труда. Вибрационная безопасность. Общие требования

ГОСТ 12.2.003 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное. Общие требования безопасности

ГОСТ 12.2.007.0 Система стандартов безопасности труда. Изделия электромеханические. Общие требования безопасности

ГОСТ 12.2.007.9 (МЭК 519-1-84) Безопасность электротермического оборудования. Часть 1. Общие требования

ГОСТ 12.2.033 Система стандартов безопасности труда. Рабочее место при выполнении работ стоя. Общие эргономические требования

ГОСТ 12.2.049 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное. Общие эргономические требования

ГОСТ 12.2.061 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное. Общие требования безопасности к рабочим местам

ГОСТ 27.002 Надежность в технике. Основные понятия. Термины и определения

ГОСТ 1908 Бумага конденсаторная. Общие технические условия

ГОСТ 3282 Проволока стальная низкоуглеродистая общего назначения. Технические условия

ГОСТ 3560 Лента стальная упаковочная. Технические условия

ГОСТ 10198 Ящики деревянные для грузов массой св. 200 до 20000 кг. Общие технические условия

ГОСТ 10923 Рубероид. Технические условия

ГОСТ 14192 Маркировка грузов

ГОСТ 14254 (IEC 60529:2013) Степени защиты, обеспечиваемые оболочками (Код IP)

ГОСТ 15150 Машины, приборы и другие технические изделия. Исполнения для различных климатических районов. Категории, условия эксплуатации, хранения и транспортирования в части воздействия климатических факторов внешней среды

ГОСТ 16272 Пленка поливинилхлоридная пластифицированная техническая. Технические условия

ГОСТ 16382 Оборудование электротермическое. Термины и определения

ГОСТ 16842 Радиопомехи индустриальные. Методы испытаний источников индустриальных радиопомех

________________

Действует ГОСТ Р 51320-99 "Совместимость технических средств электромагнитная. Радиопомехи индустриальные. Методы испытаний технических средств - источников индустриальных радиопомех".

ГОСТ 17516.1 Изделия электротехнические. Общие требования в части стойкости к механическим внешним воздействующим факторам

ГОСТ 17925 Знак радиационной опасности

ГОСТ 24686 Оборудование для производства изделий электронной техники и электротехники. Общие технические требования. Маркировка, упаковка, транспортирование и хранение

ГОСТ 27487 (МЭК 204-1-81) Электрооборудование производственных машин. Общие технические требования и методы испытаний

________________

Действует ГОСТ Р МЭК 60204-1-2007 "Безопасность машин. Электрооборудование машин и механизмов. Часть 1. Общие требования".

ГОСТ 28944 Оборудование сварочное механическое. Методы испытаний

ГОСТ 29192 Совместимость технических средств электромагнитная. Классификация технических средств

Примечание - При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодному информационному указателю "Национальные стандарты", который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по выпускам ежемесячного информационного указателя "Национальные стандарты" за текущий год. Если заменен ссылочный стандарт, на который дана недатированная ссылка, то рекомендуется использовать действующую версию этого стандарта с учетом всех внесенных в данную версию изменений. Если заменен ссылочный стандарт, на который дана датированная ссылка, то рекомендуется использовать версию этого стандарта с указанным выше годом утверждения (принятия). Если после утверждения настоящего стандарта в ссылочный стандарт, на который дана датированная ссылка, внесено изменение, затрагивающее положение, на которое дана ссылка, то это положение рекомендуется применять без учета данного изменения. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, рекомендуется применять в части, не затрагивающей эту ссылку.

     3 Термины, определения и обозначения величин

3.1 В настоящем стандарте применены термины по ГОСТ 16382, ГОСТ 27.002 и ГОСТ 15150, а также следующие термины с соответствующими определениями:

3.1.1 электронно-лучевое оборудование: Комплекс аппаратных и программных средств, предназначенных для реализации технологической операции электронно-лучевой обработки.

3.1.2 манипулятор электронной пушки: Совокупность исполнительных линейных механизмов и механизмов вращения для перемещения пушки.

3.1.3 манипулятор изделия: Совокупность исполнительных линейных механизмов и механизмов вращения для перемещения изделия.

3.1.4 станция вакуумная: Комплекс взаимосвязанных устройств (насосов, запорной аппаратуры, трубопроводов, фильтров, ловушек), предназначенный для создания и поддержания необходимого разрежения в рабочем объеме оборудования, приборов для измерения разрежения, средств контроля.

3.1.5

3.1.6

3.1.7

3.1.8 электронно-лучевая обработка; ЭЛО: Обработка, источником энергии которой является кинетическая энергия электронов в электронном пучке, сформированном электронно-лучевой пушкой. Используется для обработки изделий в космической, авиационной промышленности, приборостроении и др.

3.1.9 электронно-лучевая пушка; ЭЛП: Устройство, с помощью которого получают пучок электронов с заданной кинетической энергией и заданной конфигурации. Работа электронно-лучевой пушки возможна только в условиях глубокого вакуума, чтобы пучок электронов не рассеивался при столкновении с молекулами остаточных газов.

3.1.10 фокусирующая система: Устройство электронной оптики для фокусировки пучка электронов. Состоит из электромагнитной катушки возбуждения, полюсных наконечников. Фокусировка электронного пучка осуществляется регулировкой силы тока источником питания.

3.1.11 отклоняющая система: Устройство электронной оптики для отклонения пучка электронов. Состоит из двух электромагнитных линз, создающих равномерное магнитное поле во взаимно перпендикулярных направлениях. Управление отклонением электронного пучка осуществляется от источника питания.

3.1.12 неиспользуемое рентгеновское излучение: Рентгеновское излучение, возникающее внутри электровакуумных приборов, электронно-лучевых и других установок в результате торможения ускоренных электрическим полем электронов на электродах, обрабатываемых или исследуемых изделиях.

3.1.13 источники неиспользуемого рентгеновского излучения: Устройства, генерирующие неиспользуемое рентгеновское излучение.

3.1.14 тугоплавкие металлы: Металлы, имеющие температуру плавления T выше температуры плавления железа (T=1539°С). К ним относятся титан (T=1670°С), цирконий (T=1852°С), гафний (T=2222°С), ванадий (T=1900°С), ниобий (T=2470°С), тантал (T=2970°С), хром (T=1903°С), молибден (T=2620°С), вольфрам (T=3380°С), рений (T=3180°С) и другие.

3.1.15 смотровое окно: Защищенное двухслойное окно, обеспечивающее визуальное наблюдение за технологическим процессом без нарушения условий герметизации и защиту от рентгеновского излучения.

3.1.16 терминал управления: Оконечное сетевое устройство, подключенное к вычислительной системе и предназначенное для ввода и вывода данных. Команды, принимаемые с устройства ввода терминала (клавиатуры), передаются на управляющее устройство.

3.2 Сокращения и условные обозначения:

3.2.1 Сокращения

ЭЛО - электронно-лучевая обработка;

ЭЛП - электронно-лучевая пушка;

ТП ЭЛО - технологический процесс электронно-лучевой обработки;

КПД - коэффициент полезного действия;

СУ - система управления.

3.2.2 Условные обозначения

- ток пучка;