ГОСТ Р 57393-2017

     

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ЛИНЕЙНОГО УСКОРЕНИЯ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ

Методы измерений параметров

Microelectromechanical transducers of linear acceleration. Methods of measuring parameters

     

ОКС 31.200

Дата введения 2018-01-01

Предисловие

1 РАЗРАБОТАН Акционерным обществом "Российский научно-исследовательский институт "Электронстандарт" (АО "РНИИ "Электронстандарт") совместно с Акционерным обществом "ГИРООПТИКА" (АО "ГИРООПТИКА")

2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 303 "Электронная компонентная база, материалы и оборудование"

3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 27 февраля 2017 г. N 73-ст

4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

Правила применения настоящего стандарта установлены в статье 26 Федерального закона от 29 июня 2015 г. N 162-ФЗ "О стандартизации в Российской Федерации". Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном (по состоянию на 1 января текущего года) информационном указателе "Национальные стандарты", а официальный текст изменений и поправок - в ежемесячном информационном указателе "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ближайшем выпуске ежемесячного информационного указателя "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (www.gost.ru).

     1 Область применения

Настоящий стандарт распространяется на микроэлектромеханические преобразователи линейного ускорения (далее - преобразователи), изготовленные на основе чувствительных элементов по ГОСТ Р 54843.

Настоящий стандарт устанавливает методы измерений параметров преобразователей, значения которых находятся в следующих интервалах:

- диапазон преобразования от минус 10 до 10 м/с (от минус 10 до 10 g);

- разрешающая способность от 0,01 до 50 м/с (от 0,001 до 5 g);

- случайная составляющая смещения нуля от 0,05 до 10 м/с/ (от 0,005 до 1 g/);

- частотный диапазон преобразования от 0 до 100 Гц;

- время готовности от 0 до 60 с.

     2 Нормативные ссылки

В настоящем стандарте использованы ссылки на следующие стандарты:

ГОСТ 12.1.004 Система стандартов безопасности труда. Пожарная безопасность. Общие требования

ГОСТ 12.2.003 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное. Общие требования безопасности

ГОСТ 12.3.019 Система стандартов безопасности труда. Испытания и измерения электрические. Общие требования безопасности

ГОСТ 22261 Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия

ГОСТ Р 8.568 Государственная система обеспечения единства измерений. Аттестация испытательного оборудования. Основные положения

ГОСТ Р ИСО 5725-1 Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 1. Основные положения и определения

ГОСТ Р 54843 Изделия микросистемной техники. Элементы чувствительные микроэлектромеханических преобразователей физических величин. Общие технические условия

Примечание - При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодному информационному указателю "Национальные стандарты", который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по выпускам ежемесячного информационного указателя "Национальные стандарты" за текущий год. Если заменен ссылочный стандарт, на который дана недатированная ссылка, то рекомендуется использовать действующую версию этого стандарта с учетом всех внесенных в данную версию изменений. Если заменен ссылочный стандарт, на который дана датированная ссылка, то рекомендуется использовать версию этого стандарта с указанным выше годом утверждения (принятия). Если после утверждения настоящего стандарта в ссылочный стандарт, на который дана датированная ссылка, внесено изменение, затрагивающее положение, на которое дана ссылка, то это положение рекомендуется применять без учета данного изменения. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, рекомендуется применять в части, не затрагивающей эту ссылку.

     3 Термины, определения, обозначения и сокращения

3.1 В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями:

3.1.1 микроэлектромеханический преобразователь линейного ускорения: Устройство, предназначенное для восприятия и преобразования линейного ускорения в выходной электрический сигнал.

3.1.2 ось чувствительности преобразователя: Прямая линия, совпадающая с осью симметрии конструкции микромеханического чувствительного элемента, на которую проецируется вектор линейного ускорения и относительно которой нормированы значения параметров преобразователя.

3.1.3 диапазон преобразования; , м/с(g): Область значений линейного ускорения, в пределах которой нормированы значения параметров преобразователя.

3.1.4 время готовности; , с: Интервал времени от момента подачи напряжения питания до момента, после которого значение дрейфа смещения нуля в запуске соответствуют установленным требованиям.

3.1.5 градуировочная характеристика преобразователя: Зависимость значения выходного сигнала от величины проекции линейного ускорения на ось чувствительности преобразователя, представленная в виде формулы, графика или таблицы.

3.1.6 передаточная характеристика преобразователя: Зависимость значения выходного сигнала от величины проекции линейного ускорения на ось чувствительности преобразователя, полученная в результате линеаризации градуировочной характеристики.

3.1.7 смещение нуля; , м/с(g): Значение сигнала на выходе преобразователя при отсутствии воздействия линейного ускорения вдоль оси чувствительности преобразователя.

3.1.8 дрейф смещения нуля в запуске; , м/с(g): Изменение значения смещения нуля в заданном интервале времени с момента подачи напряжения питания.

3.1.9 нестабильность смещения нуля от запуска к запуску; , м/с(g): Изменение значений смещения нуля при циклической подаче напряжения питания.

3.1.10 случайная составляющая нуля (выходной шум); , м/с/(g/): Изменение значения смещения нуля случайным образом за установленный интервал времени при отсутствии воздействия линейного ускорения вдоль оси чувствительности преобразователя.

3.1.11 частотный диапазон преобразования; , Гц: Диапазон частот преобразуемого линейного ускорения, в котором нормированы значения параметров преобразователя.

3.1.12 нелинейность передаточной характеристики; , %: Максимальное отклонение значений передаточной характеристики от значений градуировочной характеристики.

3.1.13 масштабный коэффициент; : Отношение значения сигнала на выходе преобразователя к соответствующему значению линейного ускорения, воздействующего вдоль оси чувствительности преобразователя.

3.1.14 нестабильность масштабного коэффициента в запуске; , %: Относительное изменение масштабного коэффициента за установленный интервал времени с момента подачи напряжения питания.

3.1.15 нестабильность масштабного коэффициента от запуска к запуску; , %: Относительное изменение масштабного коэффициента за установленный интервал времени при циклической подаче напряжения питания.

3.1.16 порог чувствительности; , м/с(g): Наименьшее значение линейного ускорения, приводящее к закономерному изменению выходного сигнала преобразователя в соответствии с передаточной характеристикой.

3.1.17 предельное значение случайной составляющей нуля от запуска к запуску; , м/с/(g/): Максимальное значение случайной составляющей нуля при циклической подаче напряжения питания.

3.1.18 разрешающая способность; , м/с (g): Минимальное приращение значения проекции линейного ускорения на ось чувствительности преобразователя, приводящее к изменению значения выходного сигнала.

3.2 В настоящем стандарте приняты следующие сокращения:

АЦП - аналого-цифровой преобразователь;

АЧХ - амплитудно-частотная характеристика;

ОДГ - оптическая делительная головка;

ПЭВМ - персональная электронно-вычислительная машина;

ТУ - технические условия на преобразователи конкретных типов.

     4 Общие положения

4.1 Настоящий стандарт устанавливает методы измерений параметров:

- диапазон преобразования;

- разрешающая способность;

- смещение нуля;

- дрейф смещения нуля в запуске;

- нестабильность смещения нуля от запуска к запуску;

- предельное значение случайной составляющей нуля от запуска к запуску;

- случайная составляющая нуля (выходной шум);

- масштабный коэффициент;

- нестабильность масштабного коэффициента в запуске;

- нестабильность масштабного коэффициента от запуска к запуску;

- нелинейность передаточной характеристики;

- частотный диапазон преобразования;

- порог чувствительности;

- время готовности преобразователя;

- потребляемая мощность;

- напряжение питания;

- электрическое сопротивление изоляции.