ГОСТ Р 8.763-2011

Группа Т84.1

     

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Государственная система обеспечения единства измерений

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ДЛИНЫ В ДИАПАЗОНЕ ОТ 1·10 ДО 50 м И ДЛИН ВОЛН В ДИАПАЗОНЕ ОТ 0,2 ДО 50 мкм

State system for ensuring the uniformity of measurements. State verification schedule for measuring instruments of length in the range from 1·10 to 50 m and wavelength in the range from 0,2 to 50 m

ОКС 17.020

        17.040.01

ОКСТУ 0008

Дата введения 2013-01-01

     

Предисловие

Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. N 184-ФЗ "О техническом регулировании", а правила применения национальных стандартов Российской Федерации - ГОСТ Р 1.0-2004 "Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения"

Сведения о стандарте

1 РАЗРАБОТАН Федеральным государственным унитарным предприятием "Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д.И.Менделеева" (ФГУП "ВНИИМ им. Д.И.Менделеева") Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

2 ВНЕСЕН Управлением метрологии Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 13 декабря 2011 г. N 1094-ст

4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом информационном указателе "Национальные стандарты", а текст изменений и поправок - в ежемесячно издаваемых информационных указателях "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно издаваемом информационном указателе "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет

Настоящий стандарт распространяется на государственную поверочную схему для средств измерений длины в диапазоне от 1·10 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм (далее - государственная поверочная схема) и устанавливает порядок передачи единицы длины от государственного первичного эталона единицы длины - метра (далее - государственный первичный эталон) рабочим средствам измерений с помощью вторичных и рабочих эталонов с указанием погрешностей и основных методов поверки.

Государственная поверочная схема состоит из четырех частей:

часть 1. Источники излучений и средства измерений длин волн [рисунок А.1 (приложение А)];

часть 2. Меры длины штриховые и измерители перемещений [рисунок Б.1 (приложение Б)];

часть 3. Меры длины концевые плоскопараллельные [рисунок В.1 (приложение В)];

часть 4. Измерители перемещений, меры рельефные и микроскопы в области нанодиапазона [рисунок Г.1 (приложение Г)].

     1 Государственный первичный эталон

Государственный первичный эталон представляет собой комплекс, в состав которого входят следующие средства измерений:

- источник эталонного излучения - лазер, стабилизированный по линии насыщенного поглощения в молекулярном йоде - 127;

- установка для измерений разности частот источников лазерного излучения;

- универсальный интерференционный метровый компаратор;

- лазерный интерференционный тридцатиметровый компаратор;

- лазерный интерференционный компаратор для измерений длины в субмикронном и нанодиапазоне;

- гетеродинный интерферометр.

Номинальное значение длины волны, при котором воспроизводится единица, составляет 0,633 мкм.

Государственный первичный эталон обеспечивает воспроизведение единицы со среднеквадратическим отклонением результата измерений , не превышающим 5,6·10 при 100 независимых измерениях.

Неисключенная систематическая погрешность не превышает 2,2·10.

Государственный первичный эталон применяют для передачи единицы длины вторичным и рабочим эталонам методом прямых измерений и методом сличения с помощью компаратора и мер сравнения.

     2 Вторичные эталоны

     2.1 Вторичные эталоны 1-й части

2.1.1 В качестве вторичных эталонов используют частотно-стабилизированные лазеры в диапазоне длин волн от 0,4 до 11 мкм.

2.1.2 Среднеквадратические отклонения суммарной погрешности результатов сличений вторичных (рабочих) эталонов с государственным первичным эталоном при 100 независимых измерениях составляют от 1·10 до 1·10.

2.1.3 Вторичные (рабочие) эталоны применяют для передачи единицы длины рабочим эталонам 1-го и 2-го разрядов методом сличения с помощью компаратора и методом прямых измерений, а также рабочим средствам измерений - частотно-стабилизированным лазерам непрерывного излучения методом сличения с помощью компаратора.

     2.2 Вторичные эталоны 2 части

2.2.1 В качестве эталонов-копий используют интерференционные установки для поверки штриховых мер длины в диапазоне от 0,001 до 1000 мм.

2.2.2 Среднеквадратические отклонения суммарной погрешности результатов сличений эталонов-копий с государственным первичным эталоном не должны превышать (0,02+0,04) мкм, где - длина, м.

2.2.3 Эталоны-копии применяют для поверки рабочих эталонов 1-го разряда - штриховых мер длины, дифракционных голографических мер длины, а также рабочих средств измерений - измерителей линейных перемещений методом прямых измерений.

2.2.4 В качестве вторичных (рабочих) эталонов используют штриховые меры длины и установки для поверки штриховых мер длины в диапазоне от 0,1 до 1000 мм.

2.2.5 Доверительные границы абсолютных погрешностей при доверительной вероятности 0,99 составляют от ±(0,03+0,1) до ±(0,05+0,1) мкм, где - длина в метрах.

2.2.6 Вторичные эталоны применяют для поверки рабочих эталонов 1-го разряда - штриховых мер длины, дифракционных голографических мер длины методом прямых измерений и методом сличения с помощью компаратора.

     2.3 Вторичные эталоны 3-й части

2.3.1 В качестве эталонов-копий используют интерференционные установки для поверки плоскопараллельных концевых мер длины в диапазонах от 0,1 до 100 мм и от 100 до 1000 мм.