МИ 120-77
МЕТОДИКА ПОВЕРКИ МИКРОИНТЕРФЕРОМЕТРА МИИ-4
РАЗРАБОТАНА Всесоюзным научно-исследовательским институтом метрологической службы (ВНИИМС)
Руководитель темы К.А.Обрадович
Ответственный исполнитель Н.Н.Валуева
ПОДГОТОВЛЕНА К УТВЕРЖДЕНИЮ Всесоюзным научно-исследовательским институтом метрологической службы (ВНИИМС)
Начальник сектора К.А.Обрадович
Исполнитель Н.Н.Валуева
УТВЕРЖДЕНА секцией научно-технического совета Всесоюзного научно-исследовательского института метрологической службы (ВНИИМС) 30 ноября 1976 г. (протокол N 6)
Настоящая методика распространяется на микроинтерферометры с заводским обозначением МИИ-4, выпускаемые в соответствии с техническими условиями ТУ 3-3.1145-75, устанавливает методы и средства их первичной и периодической поверок и предназначена для применения в метрологических службах.
1. ОПЕРАЦИИ И СРЕДСТВА ПОВЕРКИ
1.1. При проведении поверки должны выполняться операции и применяться средства поверки, указанные в таблице.
Наименование операции | Номер пункта мето- | Средства поверки и их нормативно-технические характеристики | Обязательность проведения операций при | ||
выпуске из производ- | ремонте | эксплу- | |||
Внешний осмотр | 3.1 | - | Да | Нет | Нет |
Опробование | 3.2 | - | Да | Да | Да |
Определение увеличения микрообъектива с дополнительной линзой | 3.3 | Объект-микрометр типа ОМП по ГОСТ 7513-75*, штангенциркуль по ГОСТ 166-73** | Да | Да | Нет |
________________ * На территории Российской Федерации документ не действует. Заменен на ТУ 3-3.2038-87, здесь и далее по тексту. ** На территории Российской Федерации документ не действует. Действует ГОСТ 166-89, здесь и далее по тексту. - Примечания изготовителя базы данных. | |||||
Определение размеров линейного поля зрения в плоскости объекта | 3.4 | То же | Да | Да | Нет |
Определение смещения изображения относительно центральной зоны | 3.5 | Масштабная линейка по ГОСТ 427-75 | Да | Да | Да |
Определение пределов перемещения и погрешности механизма перемещения предметного столика | 3.6 | Масштабная линейка по ГОСТ 427-75, стеклянная шкала 2-го разряда по ГОСТ 8.020-75* | Да | Да | Да |
________________ * На территории Российской Федерации документ не действует. Действует МИ 2060-90, здесь и далее по тексту. - Примечание изготовителя базы данных. | |||||
Определение пределов перемещения микрометрической подачи механизма фокусировки и мертвого хода механизма | 3.7 | Глубиномер по ГОСТ 7470-67* | Да | Да | Да |
________________ * На территории Российской Федерации документ не действует. Действует ГОСТ 7470-92, здесь и далее по тексту. - Примечание изготовителя базы данных. | |||||
Проверка резкости изображения интерференционных полос в монохроматическом и белом свете | 3.8 | Концевая мера длины по ГОСТ 9038-73* | Да | Да | Да |
________________ * На территории Российской Федерации документ не действует. Действует ГОСТ 9038-90, здесь и далее по тексту. - Примечание изготовителя базы данных. | |||||
Проверка смещения центра вращения интерференционных полос относительно центра сетки окуляра | 3.9 | Симметричный окуляр 15 | Да | Да | Да |
Проверка работы механизма изменения ширины и поворота интерференционных полос и механизма перемещения интерференционных | 3.10 | Микрометр окулярный винтовой типа МОВ по ГОСТ 7865-56*, концевая мера длины по ГОСТ 9038-73 | Да | Да | Да |
________________ * На территории Российской Федерации документ не действует. Заменен на ТУ 3-3.2048-88, здесь и далее по тексту. - Примечание изготовителя базы данных. | |||||
Определение искривления интерференционных полос | 3.11 | То же | Да | Да | Да |
Определение теплового смещения интерференционных полос | 3.12 | Микрометр окулярный винтовой типа МОВ по ГОСТ 7865-56, концевая мера длины по ГОСТ 9038-73, часы наручные по ГОСТ 10.733-73* | Да | Да | Да |
_________________ * На территории Российской Федерации документ не действует. Действует ГОСТ 10733-98. - Примечание изготовителя базы данных. | |||||
Проверка качества зеркала сравнения | 3.13 | - | Да | Да | Да |
Проверка перпендикулярности стола к оптической оси микроскопа и центрировки стола | 3.14 | Симметричный окуляр 15 | Да | Да | Да |
Проверка резкости изображения полевой диафрагмы и смещения ее относительно центра сетки окуляра | 3.15 | Окуляр 7 | Да | Да | Да |
Определение отклонения значения длины волны в максимуме пропускания интерференционного светофильтра от номинального | 3.16 | Спектрофотометр СФ-10, СФ-14 по МРТУ 3-753-68, СФ-18 по ТУ 3-3.1267-75 | Да | Да | Да |
Проверка качества изображения при фотографировании | 3.17 | - | Да | Да | Да |
Определение случайной составляющей погрешности | 3.18 | Образцовая мера шероховатости типа ОМШ-МЗ-1 по ТУЮ-42.82.094 | Да | Да | Да |
Примечание. При проверке микроинтерферометра могут быть использованы концевые меры любого разряда минимальным значением от 1 до 30 мм. | |||||
С разрешения Госстандарта СССР допускается применять отдельные вновь разработанные и находящиеся в применении средства поверки, прошедшие метрологическую аттестацию в органах государственной метрологической службы и удовлетворяющие по точности требованиям методики.
2. УСЛОВИЯ ПОВЕРКИ И ПОДГОТОВКА К НЕЙ
2.1. Частота вынужденных гармонических вибраций, действующих на микроинтерферометр, не должна превышать 30 Гц. Амплитуда возможных вибраций при частоте 1-30 Гц должна соответствовать значениям от 0,01 до 0,003 мм. Для уменьшения влияния вибраций на объект измерения под основание прибора необходимо подложить амортизатор, прилагаемый к прибору.
2.2. Температура помещения, в котором проводят поверку, должна быть 20±2 °С, относительная влажность воздуха - не более 80%.
2.3. С металлических и лакированных частей прибора необходимо удалить пыль чистой салфеткой. Пыль с поверхностей линзы винтового окулярного микрометра и фронтальной линзы объектива удалить беличьей кисточкой, при наличии жирных пятен - чистой батистовой или фланелевой салфеткой, смоченной спиртом или эфиром.
2.4. Питание электрической лампы осуществляется через прилагаемый к микроинтерферометру блок питания от сети переменного тока напряжением 220±10 В, частотой 50 Гц.
2.5. Поверку прибора следует начинать через 1,5 ч после его включения.
3. ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ
Попробуйте «Техэксперт: Лаборатория. Инспекция. Сертификация» бесплатно