• Текст документа
  • Статус
  • Сканер копия
Действующий


ГОСТ Р 8.659-2009

Группа Т84.10

     
     
НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Государственная система обеспечения единства измерений

СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ ХАРАКТЕРИСТИК УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ПРИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОМ КОНТРОЛЕ В НАНОФОТОЛИТОГРАФИИ

Методика поверки

State system for ensuring the uniformity of measurements. Instruments measuring the characteristics of ultraviolet radiation of technological testing of nanophotolitography. Verification procedure



ОКС 17.020
ОКСТУ 0008

Дата введения 2011-01-01

     
     
Предисловие


Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. N 184-ФЗ "О техническом регулировании", а правила применения национальных стандартов Российской Федерации - ГОСТ Р 1.0-2004 "Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения"

Сведения о стандарте

1 РАЗРАБОТАН Федеральным Государственным унитарным предприятием "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений" (ФГУП ВНИИОФИ)

2 ВНЕСЕН Научно-техническим управлением Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 15 декабря 2009 г. N 972-ст

4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ


Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом информационном указателе "Национальные стандарты", а текст изменений и поправок - в ежемесячно издаваемых информационных указателях "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно издаваемом информационном указателе "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет

     1 Область применения


Настоящий стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения, используемые при технологическом контроле в нанофотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок.

Средства измерений характеристик УФ излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии обеспечивают измерения в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм следующих характеристик УФ излучателей:

- энергетической яркости в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более 10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки Вт/(мГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки·ср), верхняя - не менее 10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки Вт/(мГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки·ср);

- силы излучения в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более 10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки Вт/ср, верхняя - не менее 10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки Вт/ср.

Методы оценки погрешностей СИ характеристик УФ излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии, представленные в настоящем стандарте, соответствуют рекомендациям N 53 Международной комиссии по освещению [1]*.
________________
* См. раздел Библиография. - Примечание изготовителя базы данных.


Межповерочный интервал - не более одного года.

2 Нормативные ссылки


В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:

ГОСТ 8.197-2005 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений спектральной плотности энергетической яркости в диапазоне длин волн от 0,04 до 0,25 мкм

ГОСТ 8.207-76 Государственная система обеспечения единства измерений. Прямые измерения с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения

ГОСТ 8.552-2001 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн от 0,03 до 0,40 мкм

Примечание - При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информационному указателю "Национальные стандарты", который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.

3 Операции поверки


При проведении поверки выполняют операции, указанные в таблице 1.


Таблица 1

Наименование операции

Номер раздела, подраздела, пункта настоящего стандарта

Обязательность проведения операций при поверке



первичной

периодической

Внешний осмотр

8.1

+

+

Опробование

8.2

+

+

Определение метрологических характеристик

8.3

+

+

Определение погрешности спектральной коррекции чувствительности

8.3.1

+

-

Определение погрешности абсолютной чувствительности в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм

8.3.2

+

+

Определение погрешности, возникающей из-за отклонения коэффициента линейности от единицы. Определение границ диапазонов измерений энергетической яркости и силы излучения

8.3.3

+

-

Определение погрешности, возникающей из-за неидеальной коррекции угловой зависимости чувствительности

8.3.4

+

-

Обработка результатов измерений

9

+

+

4 Средства поверки


При проведении поверки применяют следующие средства поверки:

- установку для измерений энергетической яркости и силы излучения в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм в составе вторичного эталона спектральной плотности энергетической яркости (далее - ВЭТ СПЭЯ) по ГОСТ 8.197. Относительное суммарное среднее квадратическое отклонение (далее - СКО) - не более 3%;

- установку для измерений спектральной чувствительности приемников излучения в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм в составе рабочего эталона потока излучения и энергетической освещенности (далее - РЭ ПИ и ЭО) по ГОСТ 8.552. Относительное суммарное СКО - не более 3%;

- установку для измерений коэффициента линейности чувствительности радиометров УФ излучения в составе РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552. Относительное суммарное СКО - не более 4%;

- установку для измерений угловой зависимости чувствительности фотопреобразователей УФ излучения в составе РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552, включающую в себя гониометр. Относительное суммарное СКО - не более 5%.

5 Требования к квалификации поверителей


Поверку должны проводить лица, аттестованные в качестве поверителей, освоившие работу с используемыми средствами поверки, изучившие настоящий стандарт и эксплуатационную документацию на средства поверки и средства измерений.

6 Требования безопасности


При поверке СИ характеристик УФ излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии должны быть соблюдены правила электробезопасности. Измерения должны проводить два оператора, аттестованных по группе электробезопасности не ниже III, прошедших инструктаж на рабочем месте по безопасности труда при эксплуатации электрических установок.

7 Условия поверки


При проведении поверки должны быть соблюдены следующие условия:

- температура окружающего воздуха - 20°С±5°С;

- относительная влажность воздуха - 65%±15%;

- атмосферное давление - от 84 до 104 кПа;

- напряжение питающей сети - (220±4) В;

- частота питающей сети - (50±1) Гц.

8 Подготовка и проведение поверки


Методика поверки СИ характеристик УФ излучения в нанофотолитографии включает в себя подготовку к поверке, внешний осмотр, опробование и определение метрологических характеристик. При подготовке к поверке СИ необходимо включить все приборы в соответствии с их инструкциями по эксплуатации.

8.1 Внешний осмотр

При внешнем осмотре должны быть установлены:

- соответствие комплектности СИ паспортным данным;

- отсутствие механических повреждений блоков СИ, сохранность соединительных кабелей и сетевых разъемов;

- четкость надписей на панели СИ;

- наличие маркировки (тип и заводской номер СИ);

- отсутствие сколов, царапин и загрязнений на оптических деталях СИ.

8.2 Опробование

При опробовании должны быть установлены:

- наличие показаний радиометра при освещении УФ излучением;

- правильное функционирование переключателей пределов измерений, режимов работы СИ.

8.3 Определение метрологических характеристик

8.3.1 Определение погрешности спектральной коррекции чувствительности

Погрешность СИ, вызванную неидеальной спектральной коррекцией чувствительности, определяют по результатам измерений отклонений относительной спектральной чувствительности (далее - ОСЧ) поверяемого СИ от стандартной, равной единице в пределах рабочего спектрального диапазона 10-30 нм и нулю вне рабочего диапазона. ОСЧ поверяемого СИ сравнивают с известной спектральной чувствительностью эталонного фотопреобразователя УФ излучения, поверенного в ранге РЭ по ГОСТ 8.552 в диапазоне длин волн от 7 до 1100 нм. Измерения относительной спектральной чувствительности поверяемого СИ УФ излучения проводят с использованием источника синхротронного излучения, монохроматоров типов МДР-23, ВМР-2, ДФС-29, комплекта светофильтров из кварца и фтористого магния, фотоприемников типов AXUV, поверенных в ранге РЭ ПИ и ЭО ГОСТ 8.552. При определении погрешности измерений относительной спектральной чувствительности в диапазоне длин волн от 7 до 1100 нм эталонное и поверяемое СИ поочередно устанавливают за выходной щелью монохроматора таким образом, чтобы поток монохроматического излучения проходил в апертурную диафрагму. Показания эталонного радиометра ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки и поверяемого СИ ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки регистрируют поочередно пять раз на каждой длине волны с шагом 1 нм в диапазоне 7-30 нм, с шагом 5 нм в диапазоне 30-60 нм, с шагом 10 нм в диапазоне 60-1100 нм. Затем за выходной щелью монохроматора устанавливают светофильтр и регистрируют показания эталонного ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки и поверяемого СИ ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки, соответствующие рассеянному излучению в монохроматоре. Результат ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки-го измерения ОСЧ поверяемого СИ ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки рассчитывают по известным значениям ОСЧ ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки эталонного СИ и отношению значений измеренных сигналов по формуле

ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки. (1)


Для каждой длины волны определяют среднее значение ОСЧ ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки. Оценку относительного СКО ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки результатов измерений для ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки независимых измерений определяют по формуле

ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки. (2)


Граница относительной неисключенной систематической погрешности результата измерений ОСЧ ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки определяется погрешностью РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552 (из свидетельства о поверке).

Относительное суммарное СКО результатов измерения ОСЧ ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки определяют по формуле

ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки. (3)


Значение относительного суммарного СКО результатов измерений ОСЧ в диапазоне длин волн от 7 до 1100 нм не должно превышать 5%.

Погрешность спектральной коррекции поверяемого СИ ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки в процентах, вызванную отклонением относительной спектральной чувствительности ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки от стандартной ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки, определяют по формуле

ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки, (4)


где ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки - относительная спектральная плотность энергетической яркости контрольных источников УФ излучения;

ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки - относительная спектральная плотность энергетической яркости стандартного источника УФ излучения.

Для определения возможности применения поверяемого СИ при технологическом контроле в нанофотолитографии установлен перечень контрольных и стандартных источников излучения. Табулированные значения ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки и ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки приведены в таблицах 2-7. Значение погрешности спектральной коррекции чувствительности ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки СИ характеристик УФ излучения для каждого контрольного источника должно быть не более 6%.


Таблица 2 - Значения ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки для стандартного источника синхротронного излучения при энергии 450 МэВ и радиусе орбиты 1,0 мм

Длина волны, нм

ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

9,8

231

10

279

13

680

15

975

18,5

1385

20

1504

25

1663

30

1622

35

1493

40

1326

45

1172

50

1020

60

7791

70

601

80

471

90

375

100

302

110

249

120

206

130

173

140

146

150

124

160

106

180

81,4

200

63,6

225

47,8

250

36,9

275

29,1

300

23,5

350

15,9

400

11,1

500

6,38

600

3,33

700

2,67

800

1,89

900

1,38

1000

1,04

1100

0,82



Таблица 3 - Значения ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки для контрольного источника - ртутной лампы среднего давления

Длина волны, нм

ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

200

5,55·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

205

8,19·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

210

1,04·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

215

1,04·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

220

1,23·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

225

1,29·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

230

1,18·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

235

1,02·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

240

8,64·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

245

4,87·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

250

9,05·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

255

4,42·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

260

1,75·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

265

2,93·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

270

1,01·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

275

6,52·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

280

1,78·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

285

2,15·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

290

8,08·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

295

1,21·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

300

1,48·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

305

3,67·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

310

1,20·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

315

6,09·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

320

1,50·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

325

1,19·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

330

1,13·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

335

1,03·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

340

9,48·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

345

7,87·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

350

6,71·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

355

9,12·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

360

9,51·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

365

1,000

370

2,68·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

375

1,01·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

380

1,03·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

385

7,87·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

390

2,27·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

395

5,82·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

400

7,40·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

405

3,30·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

410

7,52·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

415

8,64·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

420

8,36·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

425

9,92·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

430

1,39·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

435

6,38·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

440

2,37·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

445

1,20·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

450

7,58·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

455

6,42·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

460

5,43·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

465

5,19·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

470

5,57·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

475

5,65·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

480

5,38·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

485

6,13·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

490

1,79·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

495

7,15·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

500

4,26·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

505

4,49·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

510

4,63·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

515

4,70·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

520

4,65·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

525

4,69·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

530

4,74·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

535

9,77·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

540

6,49·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

545

7,18·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

550

5,61·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

555

5,50·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

560

5,40·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

565

5,51·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

570

6,27·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

575

9,48·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

580

7,04·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

585

5,47·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

590

5,07·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

595

5,05·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

600

5,02·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

605

4,98·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

610

4,99·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

615

4,92·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

620

4,97·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

625

4,94·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

630

4,92·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

635

4,95·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

640

4,99·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

645

5,02·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

650

5,07·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

655

5,16·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

660

5,25·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

665

5,27·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

670

6,07·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

675

5,22·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

680

5,21·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

685

5,23·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

690

5,82·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

695

5,27·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

700

5,25·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

705

5,34·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

710

7,11·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

715

5,05·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

720

5,01·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

725

4,94·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

730

4,89·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

735

4,90·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

740

4,93·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

745

4,92·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

750

4,94·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

755

4,98·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

760

4,97·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

765

4,99·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

770

5,01·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

775

5,04·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

780

5,05·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

785

5,11·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

790

5,09·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

795

5,11·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

800

5,14·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

805

5,16·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

810

5,16·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

815

5,16·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

820

5,18·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

825

5,18·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

830

5,19·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

835

5,22·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

840

5,25·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

845

5,28·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

850

5,31·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

855

5,33·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

860

5,36·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

865

5,38·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

870

5,41·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

875

5,43·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

880

5,45·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

885

5,48·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

890

5,52·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

895

5,55·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

900

5,58·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

905

5,62·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

910

5,65·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

915

5,70·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

920

5,72·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

925

5,76·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

930

5,79·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

935

5,82·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

940

5,84·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

945

5,87·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

950

5,89·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

955

5,92·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

960

5,96·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

965

5,98·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

970

6,01·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

975

6,04·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

980

6,05·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

985

6,05·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

990

6,07·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

995

6,08·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

1000

6,09·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

1005

6,09·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

1010

6,23·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

1015

7,66·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

1020

6,18·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

1025

6,09·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

1030

6,08·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

1035

6,06·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

1040

6,04·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

1045

6,01·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

1050

5,96·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

1055

5,93·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

1060

5,89·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

1065

5,86·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

1070

5,82·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

1075

5,79·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

1080

5,75·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

1085

5,72·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

1090

5,69·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

1095

5,66·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

1100

5,69·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки



Таблица 4 - Значения ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки для контрольного источника - лазерной плазмы, тип I

Длина волны, нм

ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

10,0

0,299

10,5

0,489

11,0

0,161

11,5

0,175

12,0

0,109

12,5

0,095

13,0

0,474

13,5

1,000

14,0

0,832

14,5

0,825

15,0

0,474

15,5

0,336

16,0

0,321

16,5

0,175

17,0

0,086

17,5

0,056

18,0

0,038

18,5

0,025

19,0

0,018

19,5

0,015

20,0

0,007

20,5

0,009

21,0

0,008

21,5

0,008

22,0

0,015

22,5

0,009

23,0

0,015

23,5

0,009

24,0

0,007

24,5

0,011

25,0

0,014

25,5

0,007

26,0

0,014

26,5

0,012

27,0

0,006

27,5

0,013

28,0

0,015

28,5

0,007

29,0

0,011

29,5

0,014

30,0

0,009



Таблица 5 - Значения ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки для контрольного источника - лазерной плазмы, тип II

Длина волны, нм

ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

9

1,00

11

1,44

13

5,62

13,5

6,40

14

5,84

15

3,80

16

2,61

18

1,32

20

1,02

30

0,87

40

0,59

50

0,21

60

0,14

80

0,074

100

0,035

200

1,60·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

300

1,03·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

400

5,90·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

500

3,48·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

600

2,64·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

800

6,05·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

1000

2,02·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

1100

3,23·10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки



Таблица 6 - Значения ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки для контрольного источника - лазерной плазмы, тип III

Длина волны, нм

ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

10,0

0,009

10,5

0,009

11,0

0,009

11,5

0,010

12,0

0,013

12,5

0,039

13,0

0,106

13,5

1,000

14,0

0,508

14,5

0,267

15,0

0,164

15,5

0,113

16,0

0,132

16,5

0,109

17,0

0,096

17,5

0,094

18,0

0,092

18,5

0,087

19,0

0,074

19,5

0,081

20,0

0,086

20,5

0,084

21,0

0,079

21,5

0,086

22,0

0,083

22,5

0,082

23,0

0,086

23,5

0,079

24,0

0,085

24,5

0,088

25,0

0,082

25,5

0,087

26,0

0,083

26,5

0,085

27,0

0,084

27,5

0,083

28,0

0,086

28,5

0,084

29,0

0,083

29,5

0,085

30,0

0,083



Таблица 7 - Значения ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки для контрольного источника - лазерной плазмы, тип IV

Длина волны, нм

ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

8,00

0,175

8,25

0,226

8,50

0,263

8,75

0,336

9,00

0,584

9,25

0,504

9,50

0,460

9,75

0,474

10,00

0,299

10,25

0,394

10,50

0,489

10,75

0,292

11,00

0,161

11,25

0,146

11,50

0,175

11,75

0,102

12,00

0,109

12,25

0,073

12,50

0,095

12,75

0,153

13,00

0,474

13,25

0,803

13,50

1,000

13,75

0,978

14,00

0,832

14,25

0,788

14,50

0,825

14,75

0,672

15,00

0,474

15,25

0,394

15,50

0,336

15,75

0,285

16,00

0,321

16,25

0,263

16,50

0,175

8.3.2 Определение погрешности абсолютной чувствительности средств измерений в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм

Определение погрешности абсолютной чувствительности средств измерений в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм проводят с использованием источника синхротронного излучения. Эталонное и поверяемое средство измерений энергетической яркости поочередно устанавливают на одинаковом расстоянии от излучателя и юстируют по углу для получения изображения излучающей области источника. Показания эталонного средства измерений ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки и поверяемого средства измерений ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки регистрируют поочередно пять раз. Значение абсолютной чувствительности поверяемого средства измерений рассчитывают по формуле

ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки, (5)


где ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки - значение абсолютной чувствительности эталонного СИ.

Определяют среднеарифметическое значение абсолютной чувствительности поверяемого СИ, суммарное СКО результата измерений с учетом погрешности эталонного СИ по формулам (1)-(3). Предельная погрешность определения абсолютной чувствительности ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки не должна превышать 6%.

8.3.3 Определение погрешности, возникающей из-за отклонения коэффициента линейности средства измерений от единицы. Определение границ диапазона измерений энергетической яркости и силы излучения

Коэффициент линейности определяют по отклонению значения чувствительности СИ от постоянного значения в рабочем диапазоне измеряемой величины. Фиксируют ток источника синхротронного излучения ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки, соответствующий нижней границе диапазона измерений энергетической яркости, указанной в паспорте поверяемого СИ, и составляющий не более 10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки Вт/(мГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки·ср), или силы излучения, составляющий не более 10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки Вт/ср. Увеличивают ток источника вдвое и регистрируют показания поверяемого СИ ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки. Измерения проводят пять раз. Определяют средние значения измеренных сигналов, СКО ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки, суммарное СКО результатов измерений, рассчитывают коэффициент линейности

ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки (6)


и погрешность поверяемого СИ ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки, вызванную нелинейностью чувствительности СИ,

ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки. (7)


При определении границ диапазона измерений энергетической яркости и силы излучения поверяемого СИ ток излучателя увеличивают таким образом, чтобы значение энергетической яркости (силы излучения) увеличилось на порядок. Измеряют значения сигналов и рассчитывают соответствующее значение погрешности ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки. Измерения повторяют до достижения верхней границы диапазона измерений, указанной в паспорте поверяемого СИ и составляющей не менее 10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки Вт/(мГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки·ср) для энергетической яркости и 10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки Вт/ср для силы излучения. По результатам измерений определяют границы диапазона измерений энергетической яркости и силы излучения поверяемого СИ, в пределах которого значение погрешности ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки не превышает 3%.

8.3.4 Определение погрешности средства измерений, возникающей из-за неидеальной коррекции угловой зависимости чувствительности

Поверяемое СИ устанавливают на поворотном столике гониометра с использованием в качестве излучателя источника синхротронного излучения. Регистрируют показания ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки поверяемого СИ в зависимости от угла падения потока излучения ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки в пределах от 0° до 30° с шагом 1°. Показания СИ ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки для угла ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки нормируют на показание СИ ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки при нормальном угле падения ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки потока излучения. Рассчитывают угловую зависимость ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки отклонения относительной чувствительности СИ от функции ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки по формуле

ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки. (8)


Косинусную погрешность СИ ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки рассчитывают по формуле:

ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки. (9)


Значение ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки должно быть не более 3%.

При превышении указанного значения косинусной погрешности допускается ограничивать угол зрения СИ.

9 Обработка результатов измерений


Обработку результатов измерений характеристик СИ и определение основной относительной погрешности проводят в соответствии с ГОСТ 8.207.

Относительное СКО ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки результатов измерений для ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки независимых измерений оценивают по формуле (2).

СКО ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки определяют по результатам измерений в соответствии с 8.3.3 в динамическом диапазоне 10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки-10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки Вт/(мГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки·ср) для энергетической яркости, в динамическом диапазоне 10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки-10ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки Вт/ср для силы излучения.

Границу относительной неисключенной систематической погрешности ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки определяют по формуле

ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки, (10)


где ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки - составляющие неисключенной систематической погрешности:

ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки - погрешность спектральной коррекции (ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки6% - по 8.3.1);

ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки - погрешность определения абсолютной чувствительности (ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки6% - по 8.3.2);

ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки - погрешность линейности (ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки3% - по 8.3.3);

ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки - погрешность угловой коррекции (ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки3% - по 8.3.4).

Предел допускаемой основной относительной погрешности СИ ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки рассчитывают по формуле

ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки, (11)


где ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки - суммарное относительное СКО;

ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки - коэффициент, определяемый соотношением случайной и несключенной систематической погрешностей.

При ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки случайной погрешностью по сравнению с систематической пренебрегают и принимают ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки.

Результаты поверки СИ энергетической яркости и силы излучения считают положительными, если предел допускаемой основной относительной погрешности не превышает 10%.

10 Оформление результатов поверки

10.1 При положительных результатах поверки оформляют свидетельство о поверке и СИ допускают к применению.

10.2 При отрицательных результатах поверки свидетельство аннулируют и выдают извещение о непригодности СИ.

Библиография


[1] CIE N 53* Methods of characterizing the performance of radiometers and photometers. - 1982. -24 p.
________________
* Доступ к международным и зарубежным документам можно получить, перейдя по ссылке на сайт http://shop.cntd.ru. - Примечание изготовителя базы данных.

УДК 543.52:535.214.535.241:535.8:006.354

ОКС 17.020

Т84.10

ОКСТУ 0008

Ключевые слова: энергетическая яркость, сила излучения, спектральная чувствительность, средства измерений, ультрафиолетовое излучение, нанофотолитография, синхротронное излучение




Электронный текст документа
подготовлен АО "Кодекс" и сверен по:
официальное издание
М.: Стандартинформ, 2010

ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

Название документа: ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

Номер документа: 8.659-2009

Вид документа: ГОСТ Р

Принявший орган: Росстандарт

Статус: Действующий

Опубликован: Официальное издание. М.: Стандартинформ, 2016 год
Дата принятия: 15 декабря 2009

Дата начала действия: 01 января 2011
ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки
Данный документ представлен в виде сканер копии, которую вы можете скачать в формате или
Информация о данном документе содержится в профессиональных справочных системах «Кодекс» и «Техэксперт»
Узнать больше о системах