ГОСТ Р ИСО 14644-8-2008

Группа Т58

     

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды

Часть 8

КЛАССИФИКАЦИЯ МОЛЕКУЛЯРНЫХ ЗАГРЯЗНЕНИЙ В ВОЗДУХЕ

Cleanrooms and associated controlled environments. Part 8. Classification of airborne molecular contamination

ОКС 13.040.35

         19.020

Дата введения 2009-09-01

     

Предисловие

Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. N 184-ФЗ "О техническом регулировании", а правила применения национальных стандартов Российской Федерации - ГОСТ Р 1.0-2004 "Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения"

Сведения о стандарте

1 ПОДГОТОВЛЕН Общероссийской общественной организацией "Ассоциация инженеров по контролю микрозагрязнений" (АСИНКОМ) на основе собственного аутентичного перевода стандарта, указанного в пункте 4

2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 184 "Обеспечение промышленной чистоты"

3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 18 декабря 2008 г. N 625-ст

4 Настоящий стандарт идентичен международному стандарту ИСО 14644-8:2006 "Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 8. Классификация молекулярных загрязнений в воздухе" (ISO 14644-8:2006 "Cleanrooms and associated controlled environments - Part 8: Classification of airborne molecular contamination").

При применении настоящего стандарта рекомендуется использовать вместо ссылочных международных стандартов соответствующие им национальные стандарты, сведения о которых приведены в дополнительном приложении Е

5 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом информационном указателе "Национальные стандарты", а текст изменений и поправок - в ежемесячно издаваемых информационных указателях "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно издаваемом информационном указателе "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет

ВНЕСЕНА поправка, опубликованная в ИУС N 7, 2009 год

Поправка внесена изготовителем базы данных

Введение

Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды предназначены для обеспечения заданного уровня чистоты воздуха по загрязнению частицами. Защита от аэрозольных загрязнений играет важную роль в космической, электронной, фармацевтической, медицинской, пищевой промышленности и в лечебных учреждениях.

В ряде случаев отрицательное влияние на продукцию или процесс могут оказать содержащиеся в воздухе молекулярные загрязнения, источником которых могут быть наружный воздух, сам процесс и пр.

Данный стандарт рассматривает молекулярные загрязнения в воздухе. В формировании молекулярных загрязнений можно выделить три этапа. Первый этап - это выделение загрязнений внешними источниками, самим процессом, строительными материалами или персоналом. Второй этап - перенос загрязнений. Третий этап - оседание загрязнений на чувствительную поверхность.

Молекулярным загрязнениям поверхности может быть дана количественная оценка.

На уровень молекулярных загрязнений также оказывают влияние исходные материалы и поверхности, на которые оседают эти загрязнения.

Данный стандарт устанавливает классификацию ИСО для молекулярных загрязнений в воздухе чистых помещений и связанных с ними контролируемых средах, в которых этот вид загрязнений может представлять опасность для процесса или продукта.

Для целей классификации данный стандарт устанавливает пределы молекулярных загрязнений с учетом их химического состава и методы испытаний с учетом фактора времени.

Стандарт содержит справочные приложения, относящиеся к:

- характеристике загрязнений (приложение А);

- описанию типичных загрязнений (приложение В);

- типовым методам испытаний (приложение С);

- специальным требованиям, относящимся к изолирующим устройствам (приложение D).

Настоящий стандарт входит в комплекс стандартов по чистым помещениям и контролю загрязнений. При проектировании чистых помещений, выборе оборудования, эксплуатации и контроле параметров чистых помещений следует учитывать и другие факторы, помимо молекулярных загрязнений.

Международный стандарт ИСО 14644-8 подготовлен Техническим комитетом ИСО/ТК 209 "Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды".

Международный стандарт ИСО 14644 состоит из следующих частей:

- Часть 1. Классификация чистоты воздуха;

- Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ИСО 14644-1;

- Часть 3. Методы испытаний;

- Часть 4. Проектирование, строительство и ввод в эксплуатацию;

- Часть 5. Эксплуатация;

- Часть 6. Термины;

- Часть 7. Изолирующие устройства (укрытия с чистым воздухом, боксы перчаточные, изоляторы и мини-окружения);

- Часть 8. Классификация молекулярных загрязнений в воздухе.

     1 Область применения

Настоящий стандарт устанавливает классификацию молекулярных загрязнений в воздухе чистых помещений и связанных с ними контролируемых сред с учетом их химического состава, методов испытаний и анализа с учетом фактора времени.

Стандарт рассматривает молекулярные загрязнения в воздухе в пределах от 10 до 10 г/м.

Стандарт не предназначен для применения в случаях, когда аэрозольные молекулярные загрязнения не представляют опасности для продукции или процесса.

Стандарт не содержит описания природы молекулярных загрязнений.

Стандарт не устанавливает классификацию молекулярных загрязнений поверхностей.

     2 Нормативные ссылки

В настоящем стандарте использована нормативная ссылка на следующий стандарт:

ИСО 14644-6-2007 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 6. Термины

     3 Термины и определения

В настоящем стандарте применены термины с соответствующими определениями:

3.1 Общие термины

3.1.1 молекулярные загрязнения (molecular contamination): молекулярные образования химической природы (не частицы), которые могут оказать отрицательное влияние на продукт, процесс или оборудование.

3.1.2 молекулярные загрязнения в воздухе (airborne molecular contamination - АМС): молекулярные загрязнения в виде газов или паров, находящиеся в воздухе чистого помещения и контролируемой среды, которые могут оказать отрицательное влияние на продукт, процесс или оборудование.

Примечание - Это определение не распространяется на макромолекулярные образования биологической природы, которые рассматриваются как частицы.

3.1.3 молекулярные загрязнения поверхностей (surface molecular contamination - SMC): молекулярные загрязнения, осевшие на поверхности, которые могут оказать отрицательное влияние на продукт или поверхность в чистом помещении и контролируемой среде.

3.1.4 вид загрязнения (contaminant category): общее наименование веществ, которые оказывают специфическое или отрицательное воздействие при их оседании на поверхность.

3.1.5 выделение (outgassing): выделение материалом газов или паров.

3.2 Виды загрязнений

3.2.1 кислота (acid): вещество, которое при химической реакции образует новое соединение, выступая акцептором электронных пар.

3.2.2 основание (base): вещество, которое при химической реакции образует новое соединение, выступая донором электронных пар.

3.2.3 биотоксин (biotoxic): загрязняющее вещество, которое оказывает неблагоприятное воздействие на развитие и жизнедеятельность организмов, микроорганизмов, тканей или обособленных клеток.

3.2.4 конденсирующееся загрязнение (condensable): вещество, которое может оседать на поверхности в чистом помещении в эксплуатируемом состоянии путем образования конденсата.

3.2.5 коррозионно-опасное загрязнение (corrosive): вещество, оказывающее разрушающее химическое воздействие на поверхность.

3.2.6 примесь (dopant): вещество, которое после осаждения и/или диффузии проникает в материал продукта и способно изменить свойства материала, даже если оно присутствует в виде следов (в малых количествах).

3.2.7 органическое загрязнение (organic): углеводород с наличием или отсутствием кислорода, азота или других элементов.

3.2.8 окислитель (oxidant): вещество (О/О), которое после осаждения на поверхность или продукт приводит к образованию оксидов или участвует в реакции окисления.

     4 Классификация

     4.1 Общие положения

Для целей классификации молекулярных загрязнений используется обозначение по 4.2. Данное обозначение включает в себя буквы "ИСО-АМС" и задает предельно допустимую концентрацию молекулярных загрязнений в воздухе для данного вида загрязнений, отдельного вещества или группы веществ.

     4.2 Обозначение при классификации молекулярных загрязнений (ИСО-АМС)

Классификация молекулярных загрязнений в воздухе чистого помещения или связанной с ним контролируемой среде дается для определенного вида загрязнений (отдельного вещества или группы веществ).

Обозначение дается в следующей форме:

,

где - класс ИСО-АМС, представляющий собой десятичный логарифм концентрации вещества в граммах на 1 м и находящийся в пределах от 0 до -12. Промежуточные классы могут быть заданы с шагом ;

- вид загрязнения, к которому относятся, например:

- кислоты (ас);

- основания (bа);

- биотоксины (bt);

- конденсирующиеся загрязнения (cd);

- коррозионно-опасные загрязнения (сr),

- примеси (dp);

- органические загрязнения (or);