ГОСТ ИСО 14644-1-2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха

ПРИЛОЖЕНИЕ Е
(справочное)

     
Особенности счета и оценки размеров частиц, находящихся вне диапазона размеров, используемого для классификации

Е.1 Область применения

В некоторых случаях, обычно связанных со специфическими требованиями процесса, могут быть заданы другие уровни чистоты воздуха для множества частиц, размеры которых находятся вне диапазона размеров, применяемого при классификации. Максимально допустимая концентрация таких частиц и выбор метода испытаний, которым проверяется соответствие требованиям, являются предметом соглашения между заказчиком и исполнителем. Особенности метода испытаний и обозначения даны в Е.2 (для -дескрипторов) и Е.3 (для -дескрипторов).

Е.2 Частицы размером менее 0,1 мкм (ультрамелкие частицы) - -дескриптор

Е.2.1 Требования к отбору проб

Если необходимо оценить риск загрязнения, связанный с частицами размером менее 0,1 мкм, то должны быть использованы пробоотборники и процедуры измерения, учитывающие особенности характеристик таких частиц.

Число точек отбора проб должно быть установлено в соответствии с В.4.1, и минимальный объем пробы должен составлять не менее 2 л (В.4.2.2).

Е.2.2 Обозначение -дескриптора

-дескриптор может использоваться самостоятельно или как дополнение к классу чистоты, -дескриптор обозначается как

,

где - максимально допустимая концентрация ультрамелких частиц (число ультрамелких частиц в 1 м воздуха);

- размер частицы, мкм, для которого используемый счетчик считает частицы с 50%-ной эффективностью.

Пример. Чтобы выразить максимально допустимую концентрацию ультрамелких частиц 140000 частиц/м с размерами 0,01 мкм, следует использовать обозначение: (140000; 0,01 мкм).

Примечания

1 Соответствующие методы определения концентрации взвешенных в воздухе частиц размером менее чем 0,1 мкм даны в [1].

2 Если -дескриптор используется как дополнение к классу чистоты по взвешенным в воздухе частицам, то концентрация ультрамелких частиц должна быть не менее максимально допустимой концентрации частиц (частиц/м) с размерами 0,1 мкм для заданного класса ИСО.

Е.3 Частицы размером более 5,0 мкм (макрочастицы) - -дескриптор

Е.3.1 Требования к отбору проб

Если необходимо оценить риск загрязнения, связанный с частицами размером более 5,0 мкм, то должны быть использованы пробоотборники и процедуры измерения, учитывающие особенности характеристик таких частиц.

Поскольку при выделении частиц в производственном процессе обычно преобладают макрочастицы, то выбор пробоотборника и метод контроля должны учитывать особенности производства и специфику работы чистых помещений. Следует учесть такие факторы, как плотность, форма, объем и аэродинамическое поведение частиц, а также обратить особое внимание на такие специфические виды взвешенных в воздухе частиц как волокна.

Е.З.2 Обозначение -дескриптора

-дескриптор может использоваться самостоятельно или как дополнение к классам чистоты ИСО. -дескриптор обозначается как

,

где - максимально допустимая концентрация макрочастиц (число макрочастиц в 1 м воздуха);

- эквивалентный диаметр (диаметры), связанный с используемым методом счета макрочастиц, мкм;

- используемый метод счета.