Р 50.2.014-2001

Группа Т84.10

     

РЕКОМЕНДАЦИИ ПО МЕТРОЛОГИИ

     

Государственная система обеспечения единства измерений

     
СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ ХАРАКТЕРИСТИК УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
ПРИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОМ КОНТРОЛЕ В ДЕФЕКТОСКОПИИ,
ПОЛИГРАФИИ И ФОТОЛИТОГРАФИИ

     
Методика поверки

ОКС 17.020

         17.240

ОКСТУ 0008

Дата введения 2002-10-01

     

Предисловие

1 РАЗРАБОТАНЫ Федеральным государственным унитарным предприятием "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений" (ФГУП ВНИИОФИ) Госстандарта России, Техническим комитетом по стандартизации ТК 386 "Основные нормы и правила по обеспечению единства измерений в области ультрафиолетовой спектрорадиометрии"

2 ПРИНЯТЫ И ВВЕДЕНЫ В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Госстандарта России от 30 ноября 2001 г. N 508-ст

3 Настоящие рекомендации в части методов оценки погрешностей радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников соответствуют рекомендациям Международной комиссии по освещению (МКО) N 53 "Методы определения характеристик радиометров и фотометров"

4 ВВЕДЕНЫ ВПЕРВЫЕ

     1 Область применения

Настоящие рекомендации распространяются на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения технологических источников - радиометры (спектрорадиометры) УФ излучения, основанные на использовании фотодиодов, вакуумных фотоэлементов, других фотопреобразователей, область спектральной чувствительности которых ограничена диапазоном длин волн от 0,2 до 1,1 мкм. Технологические УФ излучатели применяются в дефектоскопии, полиграфии, фотолитографии для создания высоких уровней УФ освещенности. Контроль характеристик УФ излучения технологических источников проводится в соответствии с требованиями ГОСТ 28369, ГОСТ 18442 и [1]. Средства измерений характеристик УФ излучения технологических источников обеспечивают измерения энергетической освещенности в диапазоне длин волн УФ-А (0,3150,400 мкм), в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более 1,0 Вт/м, верхняя - не менее 1000 Вт/м.

Настоящие рекомендации устанавливают методику поверки радиометров (спектрорадиометров), используемых для измерения характеристик УФ излучения технологических источников.

Межповерочный интервал для средств измерений характеристик ультрафиолетового излучения технологических источников - один год.

     2 Нормативные ссылки

В настоящих рекомендациях использованы ссылки на следующие документы:

ГОСТ 8.195-89 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений спектральной плотности энергетической яркости, спектральной плотности силы излучения и спектральной плотности энергетической освещенности в диапазоне длин волн 0,2525,00 мкм; силы излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн 0,225,0 мкм

ГОСТ 8.207-76 Государственная система обеспечения единства измерений. Прямые измерения с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения

ГОСТ 8.552-86 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн 0,030,4 мкм*

_______________

* Отменен. На территории РФ действует ГОСТ 8.552-2001 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн от 0,03 до 0,40 мкм. - Примечание "КОДЕКС".

ГОСТ 18442-80 Контроль неразрушающий. Капиллярные методы. Общие требования

ГОСТ 28369-89 Контроль неразрушающий Облучатели ультрафиолетовые. Общие технические требования и методы испытаний

ПР 50.2.006-94 Государственная система обеспечения единства измерений. Порядок проведения поверки средств измерений

ПР 50.2.012-94 Государственная система обеспечения единства измерений. Порядок аттестации поверителей средств измерений

СанПиН 4557-88 Санитарные нормы ультрафиолетового излучения в производственных помещениях

     3 Операции поверки радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников

Методика поверки радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников в соответствии с ПР 50.2.006 включает операции, указанные в таблице 1.

Таблица 1

     4 Средства поверки радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников

При проведении поверки используются основные и вспомогательные средства поверки, перечень которых приведен в таблице 2.

Таблица 2

     5 Требования к квалификации поверителей

К поверке радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников допускают лиц, освоивших работу с радиометрами и используемыми эталонами, изучивших настоящие рекомендации, прошедших аттестацию в соответствии с ПР 50.2.012.

     6 Требования безопасности

При поверке радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников соблюдают правила электробезопасности [2]. Измерения должны проводить два оператора, аттестованные по группе электробезопасности не ниже III, прошедшие инструктаж на рабочем месте по безопасности труда при эксплуатации электрических установок. При работе с источниками УФ излучения необходимо использовать средства защиты персонала от УФ излучения - защитные очки, щитки, перчатки и т.п. в соответствии с требованиями СанПиН 4557.

В помещении, в котором эксплуатируются источники УФ излучения, должна быть предусмотрена приточно-вытяжная вентиляция для исключения вредного воздействия озона на людей.

     7 Условия поверки

При проведении поверки должны соблюдаться следующие условия:

     8 Подготовка и проведение поверки

Методика поверки радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников включает подготовку к поверке, внешний осмотр, опробование и определение метрологических характеристик.

8.1 При подготовке к поверке необходимо включить все приборы в соответствии с их инструкциями по эксплуатации.

8.2 При внешнем осмотре должно быть установлено:

- соответствие комплектности радиометров (спектрорадиометров) паспортным данным;

- отсутствие механических повреждений блоков радиометров (спектрорадиометров), сохранность соединительных кабелей и сетевых разъемов;

- четкость надписей на панели прибора;

- наличие маркировки (тип и заводской номер прибора);

- отсутствие сколов, царапин и загрязнений на оптических деталях прибора.

8.3 При опробовании должно быть установлено:

- наличие показаний радиометров (спектрорадиометров) при освещении УФ излучением;

- правильное функционирование переключателей пределов измерений, режимов работы радиометров (спектрорадиометров).

8.4 Определение метрологических характеристик радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников

8.4.1. Определение погрешности радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников, возникающей из-за неидеальной коррекции спектральной чувствительности, проводят при первичной поверке по результатам измерений отклонений реальной относительной спектральной чувствительности поверяемого радиометра (спектрорадиометра) от стандартной (приложение А). ОСЧ поверяемого радиометра УФ излучения сравнивается с известной спектральной чувствительностью эталонного приемника УФ излучения, поверенного в ранге РЭ по ГОСТ 8.552 в диапазоне длин волн от 0,28 до 1,1 мкм. Измерения относительной спектральной чувствительности поверяемого спектрорадиометра УФ излучения проводят с использованием источника УФ излучения - ксеноновой лампы типа ДКсШ-120, поверенного в ранге РЭ СПЭО по ГОСТ 8.195.

8.4.1.1 При измерении относительной спектральной чувствительности радиометров УФ излучения технологических источников в диапазоне длин волн от 0,28 до 0,40 мкм используется излучатель на основе ксеноновой лампы типа ДКсШ-120, монохроматор типа МДР-23 (или аналогичный) со спектральным разрешением не более 2 нм и эталонный приемник УФ излучения - фотодиод типа ФПД-1. Эталонный приемник УФ излучения и поверяемый прибор поочередно устанавливают за выходной щелью монохроматора таким образом, чтобы поток монохроматического излучения не выходил за пределы апертурной диафрагмы. Измерение сигналов эталонного приемника и поверяемого прибора проводят поочередно 5 раз на каждой длине волны с шагом 10 нм. Затем за выходной щелью монохроматора устанавливают светофильтр типа ЖС-16, не прозрачный в диапазоне длин волн от 0,28 до 0,40 мкм, и измеряют показания эталонного приемника и поверяемого прибора , соответствующие рассеянному излучению в монохроматоре. Результат -го измерения ОСЧ поверяемого прибора рассчитывают по известным значениям ОСЧ эталонного приемника и отношению измеренных сигналов по формуле