Определение ГМДС основано на использовании газожидкостной хроматографии с применением пламенно-ионизационного детектора.
Отбор проб проводится с концентрированием в н-октан.
Нижний предел измерения в анализируемом объеме - 0,01 мкг.
Нижний предел измерения в воздухе - 50 мг/м (при отборе 1 л воздуха).
Диапазон измеряемых концентраций в воздухе - от 50 до 1000 мг/м.
Определению не мешают триметилхлорсилан и хлорметилдисилан.
Суммарная погрешность не превышает ±20%.
Продолжительность анализа, включая отбор проб, - 15 мин.