ГОСТ 25662-83*
(СТ СЭВ 3407-81)

Группа Г82

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

Оборудование вакуумное

НАСОСЫ ВАКУУМНЫЕ ДИФФУЗИОННЫЕ

Методы испытаний

Vacuum equipment. Diffusion vacuum pumps. Test methods*

______________

* Наименование стандарта. Измененная редакция, Изм. N 2.     

ОКП 62 9448

Дата введения 1984-01-01

Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 3 марта 1983 г. N 1067 срок действия установлен с 01.01.84 до 01.01.89**

_______________

** Ограничение срока действия снято по протоколу N 4-93 Межгосударственного Совета по стандартизации, метрологии и сертификации (ИУС N 4, 1994 год). - Примечание изготовителя базы данных.     

* ПЕРЕИЗДАНИЕ (июнь 1984 г.) с Изменением N 1, утвержденным в апреле 1984 г. (ИУС N 8-84).

ВНЕСЕНО Изменение N 2, утвержденное и введенное в действие Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 03.11.88 N 3637 с 01.01.89

Изменение N 2 внесено изготовителем базы данных по тексту ИУС N 2, 1989 год

Настоящий стандарт распространяется на диффузионные вакуумные насосы с водяным охлаждением, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, предназначенные для откачивания из герметичных объемов воздуха, газов и парогазовых смесей, предварительно очищенных от капельной влаги и механических загрязнений и неагрессивных к материалам конструкций.

Степень соответствия настоящего стандарта СТ СЭВ 3407-81 приведена в приложении.

Термины, применяемые в настоящем стандарте, и их пояснения - по ГОСТ 5197-85 и ГОСТ 26790-85.

(Измененная редакция, Изм. N 1, 2).

Разделы 1, 2. (Исключены, Изм. N 2).

3. МЕТОДЫ ИСПЫТАНИЙ

3.1. Измерение предельного остаточного давления

3.1.1. Метод измерения предельного остаточного давления основан на измерении давления в специальной камере, откачиваемой испытуемым насосом, через равные промежутки времени при постоянной температуре.

3.1.2. Испытательная установка представлена на черт.1.

1 - измерительная камера; 2, 5 - измерительные преобразователи давления; 3 - диффузионный насос; 4 - клапан ; 6 - клапан ; 7 - механический насос

Черт.1

3.1.3. Измерительная камера представлена на черт.2.

1 - направление потока газа; 2 - напускная трубка; 3 - место подсоединения вакуумметра

Черт.2

Ось камеры должна быть перпендикулярна к плоскости входного фланца насоса, диаметр камеры должен быть равен условному проходу на входе насоса.

Поток напускаемого в измерительную камеру газа должен быть направлен по оси камеры в сторону, противоположную входному фланцу камеры, на расстоянии от него, равном диаметру камеры.

Измерительные преобразователи должны быть расположены на расстоянии 0,5 диаметра камеры от входного фланца камеры.

3.1.4. Вакуумметры, используемые для измерения давления в измерительной камере, должны обеспечивать измерения с относительной погрешностью не более:

±10% - при измерении давлений свыше 1 Па;

±20%     "           "                 " в диапазоне 1·10 Па.