Статус документа

ГОСТ 19658-81 Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия (с Изменениями N 1, 2)

1. ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ

1.1. Слитки монокристаллического кремния изготовляют в соответствии с требованиями настоящего стандарта дырочного типа электропроводности (Д), легированные бором (Б), и электронного типа электропроводности (Э), легированные фосфором (Ф) или сурьмой (С), бездислокационные (с плотностью дислокаций не более 1·10 см) по технологической документации.

При оформлении документации с применением печатающих и автоматизированных устройств индексы дополнительных требований в наименовании марок необходимо печатать в соответствии с требованиями ГОСТ 2.004.

Слитки монокристаллического кремния должны соответствовать требованиям, указанным в таблице.

Таблица


			Удельное электрическое сопротивление (УЭС)
Марка	Группа	Подгруппа	Интервал номи- нальных значений УЭС, Ом·см	Относительное отклонение средних значений УЭС торцов от номинального значения УЭС, %	Радиальное относительное отклонение УЭС от среднего значения по торцу слитка, %	Номинальный диаметр слитка, мм	Базовая длина слитка, мм, не менее
ЭКДБ	1	а				62,5	100
		б	0,005-20			78,5	150
		в		35	10	102,5	250
		г				127,5	250
		д	0,1-20			152,5	250
	2	а				62,5	100
		б	0,005-20			78,5	100
		в		25	10	102,5	200
		г				127,5	200
		д	0,1-20			152,5	250
	3	а				62,5	100
		6	0,005-20			78,5	100
		в		20	10	102,5	150
		г	0,1-20			127,5	200
		д	0,1-15			152,5	250
	4	а				62,5	100
		б	0,005-20			78,5	100
		в		15	10	102,5	150
		г	0,1-20			127,5	150
		д	0,1-15			152,5	200
	5	а				62,5	100
		б	20-40	35	15	78,5	150
		в				102,5	200
		г				127,5	250
		д				152,5	250
	6	а				62,5	100
		б				78,5	100
		в	20-40	25	15	102,5	200
		г				127,5	200
		д				152,5	250
	7	а				62,5	100
		б	20-40	20	15	78,5	100
		в				102,5	150
		г				127,5	150
	8	а	20-40			62,5	100
		б	20-40	20	10	78,5	100
		в	20-80			102,5	150
		г	20-40			127,5	150
ЭКЭС	11	а				62,5	100
		б	0,01-1	35	20	78,5	150
		в				102,5	200
	12	а				62,5	100
		б	0,01-1	20	15	78,5	100
ЭКЭФ	21	а				62,5	100
		б				78,5	150
		в	0,1-20	40	20	102,5	200
		г				127,5	200
		д				152,5	250
	22	а				62,5	100
		б				78,5	100
		в	0,1-20	30	15	102,5	200
		г				127,5	200
		д				152,5	250
	23	а				62,5	100
		б	0,1-20			78,5	100
		в		20	15	102,5	150
		г	0,1-15			127,5	150
		д				152,5	200
	24	а				62,5	100
		б	0,1-20	20	10	78,5	100
		в				102,5	150
		г	0,1-15			127,5	150
		д				152,5	200
	25	а				62,5	100
		б				78,5	150
		в	20-40	40	20	102,5	250
		г				127,5	250
		д				152,5	250
	26	а				62,5	100
		б				78,5	100
		в	20-40	30	15	102,5	200
		г				127,5	200
		д				152,5	250

Примечания:

1. Слитки с указанной базовой длиной должны составлять не менее 75% общего объема данной марки кремния.

2. Минимальная длина слитков монокристаллического кремния не должна быть менее диаметра слитка.

1.2. Кристаллографическая ориентация плоскости торцевого среза монокристаллического слитка кремния - (111) или (100) индекс "м" и (013) индекс "э" для слитков кремния, легированных бором и фосфором, с удельным электрическим сопротивлением 1-15 Ом·см.

1.3. Угол отклонения плоскости торцевого среза монокристаллических слитков кремния от заданной кристаллографической плоскости () не должен превышать 3°.

1.4. Слитки должны быть монокристаллическими и не должны иметь внешних дефектов (сколов, раковин) размером более 3 мм, а также трещин. На торцевых срезах слитков допускаются фаски с линейными размерами не более 3 мм.

1.5. Концентрация атомов оптически активного кислорода должна быть (2-9)·10 см в слитках кремния диаметром менее 150 мм и (2-10)·10 см в слитках кремния диаметром 150 и 152,5 мм при градуировочном коэффициенте, равном 2,45·10 см, вместо 3,3·10 см, указанном в приложении

1.1.-1.5. (Измененная редакция, Изм. N 1).

1.5а. Концентрация атомов оптически активного углерода должна быть не более 1·10 см в слитках кремния диаметром 78,5 мм и более, и не более 3·10 см в слитках кремния диаметром 62,5 мм.

1.5б. Концентрация атомов каждой из микропримесей железа, золота и меди в слитках монокристаллического кремния должна быть не более 1·10 см.

1.5а, 1.5б. (Введены дополнительно, Изм. N 1).

1.6. Слитки кремния с удельным электрическим сопротивлением более 3,0 Ом·см должны иметь время жизни неосновных носителей заряда: для электронной электропроводности не менее 7,5 мкс, для дырочной электропроводности не менее 2,5 мкс.

По требованию потребителя изготовляют слитки кремния, легированные бором или фосфором, с временем жизни неравновесных носителей заряда (н. н. з.), не менее:

(2-30 мкс) - для слитков с удельным электрическим сопротивлением 1-15 Ом·см (индекс "е");

(16-60 мкс) - для слитков диаметром не менее 100 мм с удельным электрическим сопротивлением 4-15 Ом·см (индекс "р");

(30-160 мкс) - для слитков диаметром не менее 100 мм с удельным электрическим сопротивлением 15-80 Ом·см (индекс "е").

(Измененная редакция, Изм. N 1).