ГОСТ 19658-81 Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия (с Изменениями N 1, 2)

Статус документа

ГОСТ 19658-81

Группа В51

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ

КРЕМНИЙ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ В СЛИТКАХ

Технические условия

Monocrystalline silicon in ingots. Specifications

ОКП 17 7213

Дата введения 1983-01-01

ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ

1. РАЗРАБОТАН И ВНЕСЕН Министерством цветной металлургии СССР

РАЗРАБОТЧИКИ

В.С.Матвеев, канд. техн. наук; А.Г.Галканов; М.Б.Рейфман, канд. хим. наук; Л.И.Власова; Р.И.Генкина; И.П.Кагановский, канд. техн. наук; Л.В.Куликова; Л.В.Лайнер, канд. техн. наук; В.И.Маркова; А.И.Попов; Н.Н.Соловьев, канд. техн. наук; Б.М.Туровский, д-р техн. наук

2. УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 27.02.81 N 1090

3. ВЗАМЕН ГОСТ 19658-74

4. ССЫЛОЧНЫЕ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ


Обозначение НТД, на который дана ссылка	Номер пункта, приложения
ГОСТ 2.004-88	1.1
ГОСТ 61-75	Приложения 7, 8а, 9
ГОСТ 334-73	Приложение 8
ГОСТ 427-75	Приложение 1
ГОСТ 701-89	Приложения 4, 8, 8а, 9
ГОСТ 1367.0-83	Приложение 9
ГОСТ 1770-74	Приложение 9
ГОСТ 2263-79	Приложение 6
ГОСТ 2548-77	Приложения 1, 4, 9
ГОСТ 2567-89	Приложения 4, 9
ГОСТ 2789-73	Приложение 3
ГОСТ 2874-82	Приложения 8, 9
ГОСТ 3647-80	Приложения 3, 6, 7, 8, 8а
ГОСТ 3776-78	Приложения 4, 9
ГОСТ 4160-74	Приложения 7, 8а
ГОСТ 4220-75	Приложение 4
ГОСТ 4461-77	Приложения 4, 7, 9
ГОСТ 5017-74	Приложение 8
ГОСТ 5959-80	4.5
ГОСТ 5962-67	Приложения 3, 8
ГОСТ 9206-80	Приложения 3, 4, 6, 7, 8, 8а, 9
ГОСТ 9285-78	Приложение 6
ГОСТ 9412-93	Приложения 3, 8
ГОСТ 9696-82	Приложения 5, 7, 8а
ГОСТ 10197-70	Приложение 5
ГОСТ 10354-82	4.1
ГОСТ 10484-78	Приложения 1, 4, 7, 8а, 9
ГОСТ 11069-74	Приложение 8
ГОСТ 11078-78	Приложение 6
ГОСТ 11109-90	Приложение 5, 8
ГОСТ 11125-84	Приложения 4, 8а, 9
ГОСТ 12026-76	Приложения 3, 4, 5, 8, 9
ГОСТ 12997-84	Приложения 7, 8а
ГОСТ 14192-96	4.6
ГОСТ 17299-78	Приложения 7, 8а
ГОСТ 18270-72	Приложение 9
ГОСТ 18300-87	Приложения 3, 7, 8, 8а
ГОСТ 20477-86	4.2, 4.3
ГОСТ 24392-80	Приложение 4
ГОСТ 25593-83	Приложения 7, 8а
ГОСТ 26239.1-84	3.8б
ГОСТ 29298-92	Приложения 3, 7, 8а, 8, 9
ГОСТ 29329-92	Приложения 4, 9
ТУ 6-09-3401-70	Приложение 9
ТУ 6-09-4015-78	Приложения 1, 9
ТУ 25-10(АМЦ.778.019)-84	Приложение 3
ТУ 25-10(АМЦ.778.020)-84	Приложение 3

5. Ограничение срока действия снято Постановлением Госстандарта от 12.05.92 N 480

6. ИЗДАНИЕ с Изменениями N 1, 2, утвержденными в июле 1987 года, мае 1992 года (ИУС 11-87, 8-92)

Настоящий стандарт распространяется на слитки монокристаллического кремния, получаемые методом Чохральского и предназначенные для изготовления пластин-подложек, используемых в производстве эпитаксиальных структур и структур металл - диэлектрик - полупроводник.

(Измененная редакция, Изм. N 2).

1. ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ

1.1. Слитки монокристаллического кремния изготовляют в соответствии с требованиями настоящего стандарта дырочного типа электропроводности (Д), легированные бором (Б), и электронного типа электропроводности (Э), легированные фосфором (Ф) или сурьмой (С), бездислокационные (с плотностью дислокаций не более 1·10 см) по технологической документации.

При оформлении документации с применением печатающих и автоматизированных устройств индексы дополнительных требований в наименовании марок необходимо печатать в соответствии с требованиями ГОСТ 2.004.

Слитки монокристаллического кремния должны соответствовать требованиям, указанным в таблице.

Таблица


			Удельное электрическое сопротивление (УЭС)
Марка	Группа	Подгруппа	Интервал номи- нальных значений УЭС, Ом·см	Относительное отклонение средних значений УЭС торцов от номинального значения УЭС, %	Радиальное относительное отклонение УЭС от среднего значения по торцу слитка, %	Номинальный диаметр слитка, мм	Базовая длина слитка, мм, не менее
ЭКДБ	1	а				62,5	100
		б	0,005-20			78,5	150
		в		35	10	102,5	250
		г				127,5	250
		д	0,1-20			152,5	250
	2	а				62,5	100
		б	0,005-20			78,5	100
		в		25	10	102,5	200
		г				127,5	200
		д	0,1-20			152,5	250
	3	а				62,5	100
		6	0,005-20			78,5	100
		в		20	10	102,5	150
		г	0,1-20			127,5	200
		д	0,1-15			152,5	250
	4	а				62,5	100
		б	0,005-20			78,5	100
		в		15	10	102,5	150
		г	0,1-20			127,5	150
		д	0,1-15			152,5	200
	5	а				62,5	100
		б	20-40	35	15	78,5	150
		в				102,5	200
		г				127,5	250
		д				152,5	250
	6	а				62,5	100
		б				78,5	100
		в	20-40	25	15	102,5	200
		г				127,5	200
		д				152,5	250
	7	а				62,5	100
		б	20-40	20	15	78,5	100
		в				102,5	150
		г				127,5	150
	8	а	20-40			62,5	100
		б	20-40	20	10	78,5	100
		в	20-80			102,5	150
		г	20-40			127,5	150
ЭКЭС	11	а				62,5	100
		б	0,01-1	35	20	78,5	150
		в				102,5	200
	12	а				62,5	100
		б	0,01-1	20	15	78,5	100
ЭКЭФ	21	а				62,5	100
		б				78,5	150
		в	0,1-20	40	20	102,5	200
		г				127,5	200
		д				152,5	250
	22	а				62,5	100
		б				78,5	100
		в	0,1-20	30	15	102,5	200
		г				127,5	200
		д				152,5	250
	23	а				62,5	100
		б	0,1-20			78,5	100
		в		20	15	102,5	150
		г	0,1-15			127,5	150
		д				152,5	200
	24	а				62,5	100
		б	0,1-20	20	10	78,5	100
		в				102,5	150
		г	0,1-15			127,5	150
		д				152,5	200
	25	а				62,5	100
		б				78,5	150
		в	20-40	40	20	102,5	250
		г				127,5	250
		д				152,5	250
	26	а				62,5	100
		б				78,5	100
		в	20-40	30	15	102,5	200
		г				127,5	200
		д				152,5	250

Доступ к полной версии документа ограничен

Полный текст этого документа доступен на портале с 20 до 24 часов по московскому времени 7 дней в неделю.

Также этот документ или информация о нем всегда доступны в профессиональных справочных системах «Техэксперт» и «Кодекс».

Нужен полный текст и статус документов ГОСТ, СНИП, СП?
Попробуйте «Техэксперт: Лаборатория. Инспекция. Сертификация» бесплатно

Реклама. Рекламодатель: Акционерное общество "Информационная компания "Кодекс". 2VtzqvQZoVs

Получить доступ